Sensofar3D共聚焦白光干涉光學輪廓儀S neox 多技術(shù)融合的測量邏輯

更新時間：2025-10-11

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Sensofar S neox 作為新型 3D 共聚焦白光干涉光學輪廓儀，核心優(yōu)勢在于多測量技術(shù)的集成設(shè)計。其傳感器頭內(nèi)整合了共聚焦、白光干涉、相位移干涉及 Ai 多焦面疊加技術(shù)，無需手動切換，系統(tǒng)可依據(jù)任務自動匹配適配技術(shù)。

產(chǎn)品細節(jié)上，設(shè)備采用模塊化結(jié)構(gòu)，光學模塊、樣品臺與控制模塊可獨立拆卸，機身尺寸 600mm×500mm×750mm，重量 70kg，適配多數(shù)實驗室空間。光學系統(tǒng)防護等級達 IP54，能抵御常見粉塵與少量濺水，鏡頭接口兼容 2.5x 至 100x 標準物鏡，還可適配長工作距離、偏光等特種物鏡。

性能方面，縱向分辨率在白光干涉模式下達 0.1nm，相位移干涉模式下進一步優(yōu)化至 0.05nm，橫向分辨率低 0.12μm，單次掃描深度可達 8mm，支持 86° 斜率表面測量。搭配實時環(huán)境補償算法，在振動幅度超 100nm 的環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作。

用材上，核心光學部件選用高純度熔融石英玻璃，透光率超 92%，鏡頭采用氧化硅與氟化鎂復合增透膜，反射率≤0.5%。樣品臺底座為高強度鑄鐵，臺面采用 304 不銹鋼，經(jīng)精密研磨后平整度差≤2μm。

核心參數(shù)簡表

參數(shù)類別	數(shù)值 / 規(guī)格
測量技術(shù)	共聚焦 + 白光干涉 + 多焦面疊加
縱向分辨率	0.05nm-0.1nm
橫向分辨率	0.12μm-0.16μm
掃描深度	最大 8mm
工作環(huán)境	18℃-28℃，濕度 30%-65%

用途覆蓋半導體晶圓檢測、光學鏡片形貌分析等場景。使用時先通過 SensoSCAN 軟件預覽定位，再選擇對應測量模式，新手可直接采用默認參數(shù)。

服務熱線：17701039158

公司地址：北京市房山區(qū)長陽鎮(zhèn)

公司郵箱：qiufangying@bjygtech.com

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