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zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀非接觸式測(cè)量新選擇 ZYGO光學(xué)輪廓儀是一款非接觸式光學(xué)輪廓儀，適用于多種表面形貌測(cè)量。設(shè)備采用白光干涉技術(shù)，具備高精度和高分辨率，適用于多種材料表面的測(cè)量。