ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產品是基于光學干涉原理的高精度表面測量儀器，適用于光學元件、半導體器件、精密機械零件等表面的納米級形貌測量需求。該系列產品采用非接觸式測量方式，可為用戶提供三維表面形貌數(shù)據(jù)。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案

技術特點

測量性能表現(xiàn)

• 采用激光共聚焦技術，實現(xiàn)亞納米級垂直分辨率

• 多種物鏡可選，適應不同放大倍率需求

• 測量范圍覆蓋從亞納米到數(shù)毫米的高度差

• 支持多種表面反射率樣品的測量

系統(tǒng)功能配置

• 自動化測量流程，減少人為操作影響

• 可選配振動隔離系統(tǒng)，提升測量穩(wěn)定性

• 支持多角度測量功能（部分型號）

• 兼容多種規(guī)格的樣品夾具和載物臺

數(shù)據(jù)分析軟件

• 專業(yè)分析軟件提供多種表面參數(shù)計算

• 支持三維形貌可視化與多角度觀察

• 數(shù)據(jù)導出格式兼容主流分析軟件

• 可生成標準化檢測報告

典型應用領域

1. 光學鏡片面形精度檢測

2. 半導體晶圓表面質量評估

3. 精密機械零件形位公差測量

4. 功能性薄膜表面特性分析

5. MEMS器件三維形貌表征

使用注意事項

• 建議在溫控實驗室環(huán)境中使用

• 測量前需進行系統(tǒng)校準

• 特殊樣品可能需要專用夾具

• 高反射率樣品需調整測量參數(shù)

服務支持體系

ZYGO公司提供以下專業(yè)服務：

• 安裝調試與操作培訓

• 定期校準與性能驗證

• 應用技術支持

• 軟件升級維護

總結

ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產品憑借其測量精度和可靠性，為精密制造領域的表面質量控制提供了有效的測量手段。該產品適用于需要高精度表面形貌分析的研發(fā)和質量控制場景。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案