一、產品概覽：工業(yè)與科研的“微觀之眼"
作為西班牙Sensofar公司推出的新一代非接觸式3D表面光學輪廓儀，S lynx系列以“三合一測量技術"為核心，融合白光干涉、共聚焦成像與AI多焦面疊加三大功能，覆蓋從納米級光滑表面到微米級粗糙結構的全尺度測量需求。其緊湊設計（整機尺寸420mm×380mm×580mm，重量不足35kg）與模塊化結構，可靈活部署于潔凈車間、實驗室或生產線，成為半導體、汽車制造、生物醫(yī)學等領域的“形貌分析利器"。Sensofar S lynx 光學輪廓儀表面測量新維度Sensofar S lynx 光學輪廓儀表面測量新維度

二、產品性能：技術突破定義

1. 三重測量技術協(xié)同

• 白光干涉模式：針對Ra<10nm的超光滑表面（如半導體晶圓、光學鏡片），垂直分辨率達0.1nm，可精準捕捉納米級缺陷與形貌變化。

• 共聚焦成像模式：通過針孔濾波排除離焦光干擾，橫向分辨率達0.09μm，適用于金屬加工件、陶瓷涂層等中等粗糙度表面的紋理與形貌復合分析。

• AI多焦面疊加技術：針對Ra>1μm的粗糙表面（如3D打印構件、地質樣本），通過深度學習算法融合多焦面圖像，在10mm垂直行程內保持0.5μm重復性精度，測量效率較傳統(tǒng)方法提升3倍。

2. 動態(tài)范圍與效率平衡

• 電動XY平臺行程達125mm×75mm，支持高精度傾斜調整（角度分辨率0.001°），可自動完成樣品定位與調平。

• 傳感器頭內嵌計算單元，數據預處理效率提升40%，搭配SensoVIEW 2.0軟件，實現ISO 25178、ASA S2等20余種國際標準參數計算，并支持數字孿生映射與MES/ERP系統(tǒng)無縫對接。

三、核心參數與技術規(guī)格

四、用材與工藝：工業(yè)級耐用性保障

• 光學系統(tǒng)：采用德國肖特光學玻璃與日本濱松LED光源，確保光路穩(wěn)定性與色彩還原度。

• 機械結構：航空級鋁合金框架搭配大理石基座，抗振動干擾能力提升50%，適應復雜工業(yè)環(huán)境。

• 防護設計：IP54防護等級，防塵防水濺，關鍵部件（如物鏡、電動平臺）采用密封設計，延長使用壽命。

五、應用場景：跨行業(yè)解決方案

1. 半導體制造：檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度，評估刻蝕均勻性與側壁粗糙度。

2. 新能源電池：非接觸式測量極片涂層厚度一致性，避免探針劃傷風險，支持米級長度在線全檢。

3. 生物醫(yī)學：分析人工關節(jié)羥基磷灰石涂層的孔隙率與結晶度，預測植入物壽命。

4. 汽車工程：測量發(fā)動機缸體、渦輪葉片的表面粗糙度，優(yōu)化摩擦性能與耐久性。

六、包裝與運輸：安全無憂的交付體驗

• 定制化包裝：采用高密度泡沫內襯與防震木箱，通過ISTA 3A運輸測試標準，確保設備在長途運輸中免受沖擊。

• 配件清單：包含標準物鏡套裝（5×/10×/50×）、校準樣塊、SensoSCAN軟件授權、操作手冊與快速指南。

七、使用說明：從開箱到測量的全流程支持

1. 安裝調試：由Sensofar認證工程師提供現場安裝與光路校準服務，確保設備達到出廠精度標準。

2. 操作培訓：通過線上課程與線下實操結合，覆蓋軟件參數設置、測量模式選擇、數據分析報告生成等全流程。

3. 維護指南：提供每日清潔、季度校準、年度保養(yǎng)的標準化流程，延長設備使用壽命。

結語：S lynx——讓微觀世界觸手可及
從晶圓廠的納米級缺陷檢測到汽車生產線的表面質量管控，Sensofar S lynx以“精準、高效、智能"重新定義表面測量標準。其三合一技術架構與工業(yè)級設計，不僅滿足當前制造需求，更通過數字孿生與AI集成，為工業(yè)4.0時代的智能化轉型提供核心數據支撐。選擇S lynx，即是選擇一個更精密、更可靠的微觀世界探索伙伴。Sensofar S lynx 光學輪廓儀表面測量新維度