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激光干涉儀
Zygo激光干涉儀
Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案
Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測(cè)量技術(shù),為微納米級(jí)表面形貌檢測(cè)提供有效解決方案,適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件和精密制造等領(lǐng)域。
產(chǎn)品分類
Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案 Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測(cè)量技術(shù),為微納米級(jí)表面形貌檢測(cè)提供有效解決方案,適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件和精密制造等領(lǐng)域。
多模式測(cè)量:支持白光干涉和相移干涉模式
寬范圍測(cè)量:垂直測(cè)量范圍可達(dá)10mm
快速掃描:單次測(cè)量時(shí)間可控制在秒級(jí)
高重復(fù)性:測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠
光學(xué)系統(tǒng):高精度干涉物鏡組
機(jī)械平臺(tái):花崗巖基座配合空氣隔振
探測(cè)系統(tǒng):高分辨率CCD傳感器
控制系統(tǒng):模塊化電子系統(tǒng)
型號(hào) | NewView 9000 | NewView 7000 |
---|---|---|
垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
水平視場 | 0.1-10mm | 0.2-8mm |
測(cè)量速度 | 5秒/次 | 10秒/次 |
最大樣品高度 | 150mm | 100mm |
物鏡選項(xiàng) | 2.5X-100X | 5X-50X |
晶圓表面缺陷檢測(cè)
光學(xué)鏡面面形測(cè)量
MEMS器件三維形貌分析
材料表面粗糙度評(píng)估
樣品準(zhǔn)備:確保待測(cè)表面清潔無污染
參數(shù)設(shè)置:選擇合適的光學(xué)模式和放大倍率
自動(dòng)對(duì)焦:使用軟件輔助對(duì)焦功能
開始測(cè)量:啟動(dòng)自動(dòng)掃描程序
數(shù)據(jù)分析:通過配套軟件處理測(cè)量結(jié)果
定期清潔光學(xué)元件
保持實(shí)驗(yàn)室環(huán)境穩(wěn)定
避免設(shè)備受到振動(dòng)影響
定期進(jìn)行設(shè)備校準(zhǔn)
結(jié)語:
Zygo光學(xué)輪廓儀以可靠的測(cè)量性能,為工業(yè)檢測(cè)和科研工作提供支持。如需了解更多信息,歡迎咨詢專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案
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