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Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案

產(chǎn)品簡介

Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案
Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測(cè)量技術(shù),為微納米級(jí)表面形貌檢測(cè)提供有效解決方案,適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件和精密制造等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-08-25
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:52
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產(chǎn)品概述

Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案  Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測(cè)量技術(shù),為微納米級(jí)表面形貌檢測(cè)提供有效解決方案,適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件和精密制造等領(lǐng)域。

性能特點(diǎn)

  • 多模式測(cè)量:支持白光干涉和相移干涉模式

  • 寬范圍測(cè)量:垂直測(cè)量范圍可達(dá)10mm

  • 快速掃描:單次測(cè)量時(shí)間可控制在秒級(jí)

  • 高重復(fù)性:測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠

用材與工藝

  • 光學(xué)系統(tǒng):高精度干涉物鏡組

  • 機(jī)械平臺(tái):花崗巖基座配合空氣隔振

  • 探測(cè)系統(tǒng):高分辨率CCD傳感器

  • 控制系統(tǒng):模塊化電子系統(tǒng)

參數(shù)表

型號(hào)NewView 9000NewView 7000
垂直分辨率0.1nm0.5nm
水平視場0.1-10mm0.2-8mm
測(cè)量速度5秒/次10秒/次
最大樣品高度150mm100mm
物鏡選項(xiàng)2.5X-100X5X-50X

典型用途

  • 晶圓表面缺陷檢測(cè)

  • 光學(xué)鏡面面形測(cè)量

  • MEMS器件三維形貌分析

  • 材料表面粗糙度評(píng)估

使用說明

  1. 樣品準(zhǔn)備:確保待測(cè)表面清潔無污染

  2. 參數(shù)設(shè)置:選擇合適的光學(xué)模式和放大倍率

  3. 自動(dòng)對(duì)焦:使用軟件輔助對(duì)焦功能

  4. 開始測(cè)量:啟動(dòng)自動(dòng)掃描程序

  5. 數(shù)據(jù)分析:通過配套軟件處理測(cè)量結(jié)果

維護(hù)建議

  • 定期清潔光學(xué)元件

  • 保持實(shí)驗(yàn)室環(huán)境穩(wěn)定

  • 避免設(shè)備受到振動(dòng)影響

  • 定期進(jìn)行設(shè)備校準(zhǔn)

結(jié)語:
Zygo光學(xué)輪廓儀以可靠的測(cè)量性能,為工業(yè)檢測(cè)和科研工作提供支持。如需了解更多信息,歡迎咨詢專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。Zygo光學(xué)輪廓儀:微納表面測(cè)量方案


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