BEUKER白光干涉儀：表面測量的可靠工具?

產(chǎn)品簡介

BEUKER白光干涉儀：表面測量的可靠工具?
BEUKER白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術，適用于微納米級表面形貌分析。其光學系統(tǒng)基于白光干涉原理，可清晰呈現(xiàn)樣品表面的三維形貌，適用于半導體、光學元件、精密加工等領域。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-08-19

廠商性質：代理商

訪問量：41

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

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BEUKER白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術，適用于微納米級表面形貌分析。其光學系統(tǒng)基于白光干涉原理，可清晰呈現(xiàn)樣品表面的三維形貌，適用于半導體、光學元件、精密加工等領域。BEUKER白光干涉儀：表面測量的可靠工具

產(chǎn)品性能

•測量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）
•橫向分辨率：最高可達0.5μm
•重復性：優(yōu)于0.1%
•支持多種測量模式：臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材與結構

儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架，光學部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃，確保長期測量穩(wěn)定性。載物臺采用防震設計，減少環(huán)境振動干擾。

參數(shù)表

型號	垂直分辨率	最大掃描范圍	適用樣品
BWI-200	0.1nm	1mm	光滑表面、薄膜
BWI-500	0.2nm	10mm	粗糙表面、微結構

用途

•半導體晶圓檢測
•光學鏡面質量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機械加工表面評估

使用說明