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ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量

產(chǎn)品簡介

ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量
ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業(yè)提供可靠的表面測量方案,支持快速、非接觸式檢測,提升質(zhì)量控制效率。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-08-25
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:53
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ZYGO白光干涉光學輪廓儀 ZYGO白光干涉儀采用*的白光干涉技術(shù),通過測量光程差來獲取樣品表面的三維形貌和粗糙度信息。其非接觸式測量方式確保了樣品的完整性和測量的可靠性。設備支持多種樣品臺和自動聚焦功能,便于靈活調(diào)整測量參數(shù) ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量

產(chǎn)品性能

  • 測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)


  • 橫向分辨率:最高可達0.5μm


  • 重復性:優(yōu)于0.1%


  • 支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材與結(jié)構(gòu)

儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃,確保長期測量穩(wěn)定性。載物臺采用防震設計,減少環(huán)境振動干擾。

參數(shù)表

型號

垂直分辨率

最大掃描范圍

適用樣品

ZYGO-200

0.1nm

1mm

光滑表面、薄膜

ZYGO-500

0.2nm

10mm

粗糙表面、微結(jié)構(gòu)

用途

  • 半導體晶圓檢測

  • 光學鏡面質(zhì)量分析

    MEMS器件形貌測量

  • 精密機械加工表面評估

ZYGO白光干涉儀:高精度表面測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀




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