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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
S neoxSensofar三維共聚焦輪廓儀多技術(shù)表面測量
Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術(shù)表面測量Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀采用模塊化設(shè)計(jì),集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面疊加四種測量模式。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)
Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀采用模塊化設(shè)計(jì),集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面疊加四種測量模式。傳感器頭內(nèi)置高速高分辨率黑白CCD攝像頭(2442×2048像素,60fps)與彩色攝像頭,支持實(shí)時(shí)彩色成像與高對(duì)比度深度編碼。設(shè)備配備6位電動(dòng)鼻輪,可快速切換物鏡(5×、20×、100×共聚焦物鏡,10×、20×干涉物鏡),適應(yīng)不同測量需求。Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術(shù)表面測量
產(chǎn)品性能
速度:數(shù)據(jù)采集速度達(dá)180幀/秒,典型三維圖像獲取僅需3秒,較傳統(tǒng)設(shè)備效率提升5倍。
精度:共聚焦模式橫向分辨率0.10μm,Z軸重復(fù)性達(dá)納米級(jí);白光干涉模式縱向分辨率穩(wěn)定在納米級(jí),支持粗糙表面測量。
穩(wěn)定性:無運(yùn)動(dòng)部件設(shè)計(jì)減少機(jī)械誤差,LED光源壽命長達(dá)50,000小時(shí),避免激光散斑干擾。
用材與參數(shù)表
參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格 |
---|---|
測量范圍 | Z軸:0.1nm-34mm;XY平臺(tái):125mm×75mm |
最大拼接張數(shù) | 10×12(500Mpx高分辨率模式) |
光源類型 | 四色LED(紅、綠、藍(lán)、白) |
適用表面斜率 | 光滑表面70°,粗糙表面86° |
型號(hào)與用途
型號(hào):S neox
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體晶圓平整度檢測、微電子器件表面形貌分析、精密加工刀具切削刃測量、醫(yī)療植入物表面紋理研究。
使用說明
樣品放置:將樣品置于XY平臺(tái),使用傾斜平臺(tái)調(diào)平。
模式選擇:通過SensoSCAN軟件一鍵切換共聚焦、干涉或多焦面疊加模式。
參數(shù)設(shè)置:根據(jù)樣品材質(zhì)調(diào)整照明亮度與掃描范圍,支持ISO 25178/4287標(biāo)準(zhǔn)粗糙度測量。
結(jié)果分析:利用SensoVIEW軟件生成2D/3D視圖,實(shí)時(shí)顯示剖面線高度信息。
Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術(shù)表面測量
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