Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術表面測量

產(chǎn)品簡介

Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術表面測量
Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學輪廓儀采用模塊化設計，集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面疊加四種測量模式。

產(chǎn)品型號：S neox

更新時間：2025-10-11

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：110

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學輪廓儀布魯克三維光學輪廓儀

查看全部產(chǎn)品

Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光學輪廓儀S neox納米材料研究的適配設計

Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光學輪廓儀S neox 從入門到批量檢測

Sensofar：光學3D輪廓儀在深寬比樣品測量中的關鍵技術解析

揭秘EUV光刻核心技術：如何用納米級測量打造下一代芯片？?

詳細介紹在線留言

產(chǎn)品細節(jié)
Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學輪廓儀采用模塊化設計，集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面疊加四種測量模式。傳感器頭內(nèi)置高速高分辨率黑白CCD攝像頭（2442×2048像素，60fps）與彩色攝像頭，支持實時彩色成像與高對比度深度編碼。設備配備6位電動鼻輪，可快速切換物鏡（5×、20×、100×共聚焦物鏡，10×、20×干涉物鏡），適應不同測量需求。Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術表面測量

產(chǎn)品性能

速度：數(shù)據(jù)采集速度達180幀/秒，典型三維圖像獲取僅需3秒，較傳統(tǒng)設備效率提升5倍。
精度：共聚焦模式橫向分辨率0.10μm，Z軸重復性達納米級；白光干涉模式縱向分辨率穩(wěn)定在納米級，支持粗糙表面測量。
穩(wěn)定性：無運動部件設計減少機械誤差，LED光源壽命長達50,000小時，避免激光散斑干擾。

用材與參數(shù)表

參數(shù)項	規(guī)格
測量范圍	Z軸：0.1nm-34mm；XY平臺：125mm×75mm
最大拼接張數(shù)	10×12（500Mpx高分辨率模式）
光源類型	四色LED（紅、綠、藍、白）
適用表面斜率	光滑表面70°，粗糙表面86°

型號與用途