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激光干涉儀
Zygo激光干涉儀
zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀非接觸式測(cè)量新選擇
zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀非接觸式測(cè)量新選擇ZYGO光學(xué)輪廓儀是一款非接觸式光學(xué)輪廓儀,適用于多種表面形貌測(cè)量。設(shè)備采用白光干涉技術(shù),具備高精度和高分辨率,適用于多種材料表面的測(cè)量。
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設(shè)備具備非接觸式測(cè)量技術(shù),避免了對(duì)樣品的損傷,適用于多種材料表面的測(cè)量,如光學(xué)元件、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)材料等。其測(cè)量精度高,可達(dá)到納米級(jí),滿足ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度測(cè)量要求。設(shè)備具備自動(dòng)聚焦和自動(dòng)對(duì)焦功能,操作簡(jiǎn)便,適合快速測(cè)量和數(shù)據(jù)分析。zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀非接觸式測(cè)量新選擇
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