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三維光學(xué)輪廓儀
BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀
布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀科研工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用
布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀科研工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用布魯克白光干涉儀的應(yīng)用范圍覆蓋了從前沿科學(xué)研究到工業(yè)化生產(chǎn)的多個(gè)環(huán)節(jié)。
布魯克白光干涉儀的應(yīng)用場(chǎng)景廣泛,涵蓋了前沿科學(xué)研究與工業(yè)質(zhì)量控制。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀科研工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用
在科學(xué)研究方面,例如在微納技術(shù)研發(fā)中,用于測(cè)量微結(jié)構(gòu)的形貌和力學(xué)特性;在新材料領(lǐng)域,用于觀察表面改性、涂層或腐蝕后的微觀變化。
在工業(yè)檢測(cè)中,其作用同樣明顯。在半導(dǎo)體制造中,用于監(jiān)控晶圓表面的薄膜厚度、平坦化工藝后的表面狀況。在精密光學(xué)元件加工中,用于檢測(cè)透鏡、反射鏡的面形精度與表面質(zhì)量。在制造業(yè)中,可用于分析關(guān)鍵機(jī)械部件的表面磨損情況。
儀器的設(shè)計(jì)考慮了穩(wěn)定性,使其不僅能安放在實(shí)驗(yàn)室中,也能在條件受控的生產(chǎn)線上實(shí)施在線或離線的快速抽檢,為生產(chǎn)過(guò)程提供數(shù)據(jù)反饋。
其分析軟件提供了多種數(shù)據(jù)處理工具:
三維形貌顯示: 生成可視化的三維表面圖。
二維輪廓分析: 提取任意位置的截面線,進(jìn)行點(diǎn)、線尺寸的測(cè)量。
粗糙度參數(shù)計(jì)算: 依據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),輸出一系列表面粗糙度參數(shù)。
功能分析: 進(jìn)行表面積、體積、孔隙率等分析。
報(bào)告生成: 將測(cè)量結(jié)果與數(shù)據(jù)導(dǎo)出生成定制化報(bào)告。
其分析軟件提供了多種數(shù)據(jù)處理工具:
三維形貌顯示: 生成可視化的三維表面圖。
二維輪廓分析: 提取任意位置的截面線,進(jìn)行點(diǎn)、線尺寸的測(cè)量。
粗糙度參數(shù)計(jì)算: 依據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),輸出一系列表面粗糙度參數(shù)。
功能分析: 進(jìn)行表面積、體積、孔隙率等分析。
報(bào)告生成: 將測(cè)量結(jié)果與數(shù)據(jù)導(dǎo)出生成定制化報(bào)告。
這些功能協(xié)助用戶將測(cè)量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可用于工藝判斷的量化信息。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀科研工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用
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