Sensofar 三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀在微觀測(cè)量領(lǐng)域的出色表現(xiàn),在 S neox 型號(hào)上得到充分體現(xiàn),其技術(shù)細(xì)節(jié)與功能設(shè)計(jì)均圍繞提升測(cè)量效率與準(zhǔn)確性展開(kāi)。Sensofar輪廓儀微觀世界的精密之眼
共聚焦部分采用基于微型顯示器(FLCoS)的技術(shù),摒棄了傳統(tǒng)機(jī)械掃描結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的穩(wěn)定掃描。這一設(shè)計(jì)不僅降低了機(jī)械磨損帶來(lái)的精度衰減,還提升了掃描速度,共聚焦圖像幀率達(dá) 12.5 幀 / 秒,垂直 3D 掃描速度為 8 層 / 秒,對(duì)于需要快速獲取大面積表面信息的場(chǎng)景尤為適用。干涉物鏡提供多種類型選擇,包括可變反射率物鏡、Michelson 物鏡、Mirau 物鏡及 Linnik 物鏡等,可根據(jù)樣品特性(如透明程度、表面反射率)靈活搭配,確保干涉信號(hào)的穩(wěn)定性。
設(shè)備配備 4 個(gè)獨(dú)立 LED 光源,分別為紅 630nm、綠 530nm、藍(lán) 460nm、白 550nm,不同波長(zhǎng)的光線在測(cè)量中各有優(yōu)勢(shì):較短波長(zhǎng)的藍(lán)光適合獲取更高的水平分辨率,可識(shí)別更細(xì)微的結(jié)構(gòu);較長(zhǎng)波長(zhǎng)的紅光在干涉掃描中穿透能力更強(qiáng),適用于稍厚的透明樣品;三色 LED 交替照明時(shí),能通過(guò)光譜差異增強(qiáng)圖像對(duì)比度,使不同材質(zhì)的邊界更清晰。鏡頭方面,采用尼康優(yōu)質(zhì) CF60-2 系列平場(chǎng)消色差高分辨率鏡頭,在增大工作距離(方便放置大型樣品)的同時(shí),保證了數(shù)值孔徑(NA)值,確保成像質(zhì)量。
在透明薄膜測(cè)量領(lǐng)域,該型號(hào)表現(xiàn)突出,1 秒內(nèi)即可完成 10nm - 20μm 厚度范圍的薄膜測(cè)量,厚度分辨率達(dá) 0.1nm,橫向分辨率 5μm。這一性能讓它在光學(xué)元件制造中可用于檢測(cè)增透膜的厚度均勻性,在薄膜研究中能跟蹤薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的厚度變化,為產(chǎn)品質(zhì)量提升與技術(shù)創(chuàng)新提供有力的數(shù)據(jù)支撐。Sensofar輪廓儀微觀世界的精密之眼