布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀是一種用于表面形貌測(cè)量的光學(xué)設(shè)備。該儀器基于白光干涉原理，能夠?qū)Χ喾N材料的表面進(jìn)行非接觸式三維形貌測(cè)量。其核心部件包括光源系統(tǒng)、干涉鏡頭、精密位移臺(tái)和信號(hào)處理單元。設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶需求選配不同放大倍率的物鏡，以適應(yīng)從微米到納米級(jí)別的測(cè)量需求。布魯克白光干涉輪廓儀產(chǎn)品介紹

該產(chǎn)品的主要用途包括材料科學(xué)、微電子制造、精密加工和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的表面質(zhì)量檢測(cè)。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于晶圓表面粗糙度和臺(tái)階高度的測(cè)量；在光學(xué)加工中，可用于透鏡和反射鏡的面形檢測(cè)。

儀器使用高剛性合金材料外殼，內(nèi)部光學(xué)元件采用抗環(huán)境干擾設(shè)計(jì)，具有良好的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性。配套的操作軟件提供數(shù)據(jù)采集、分析和報(bào)告生成功能，用戶可通過圖形界面輕松完成測(cè)量設(shè)置和結(jié)果解讀。

參數(shù)方面，該型號(hào)垂直分辨率可達(dá)0.1納米，橫向分辨率取決于物鏡配置，最高可達(dá)0.3微米。掃描范圍通常為數(shù)毫米至數(shù)十毫米，具體取決于型號(hào)和配置。測(cè)量速度可根據(jù)精度要求進(jìn)行調(diào)整，平衡效率與數(shù)據(jù)質(zhì)量。

使用該設(shè)備時(shí)，需先將樣品固定在載物臺(tái)上，通過軟件選擇測(cè)量區(qū)域和參數(shù)，啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量程序即可。儀器支持自動(dòng)聚焦和多區(qū)域掃描功能，適合批量檢測(cè)需求。定期維護(hù)包括光學(xué)元件清潔和系統(tǒng)校準(zhǔn)，以保證長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性。布魯克白光干涉輪廓儀產(chǎn)品介紹