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三維光學(xué)輪廓儀
BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀
布魯克白光干涉輪廓儀使用指南
布魯克白光干涉輪廓儀使用指南布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀通過白光干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)高分辨率表面測量。
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布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀的操作分為樣品準(zhǔn)備、儀器設(shè)置、數(shù)據(jù)采集和結(jié)果分析四個(gè)步驟。首先,將樣品平穩(wěn)放置于載物臺,避免傾斜或晃動(dòng)。對于微小樣品,可使用夾具固定。啟動(dòng)軟件后,選擇對應(yīng)物鏡和測量模式,設(shè)置掃描范圍和速度。布魯克白光干涉輪廓儀使用指南
儀器采用非接觸測量方式,無需噴涂或處理樣品,但對于透明或低反射率表面,可調(diào)整光源強(qiáng)度或使用增強(qiáng)對比度選項(xiàng)。軟件提供自動(dòng)聚焦功能,也可手動(dòng)微調(diào)以確保干涉條紋清晰。
數(shù)據(jù)采集完成后,軟件自動(dòng)生成高度圖和相位圖,用戶可進(jìn)行濾波、拼接和統(tǒng)計(jì)分析。報(bào)告導(dǎo)出格式包括PDF、CSV和圖像文件,便于后續(xù)處理或存檔。
注意事項(xiàng):避免在強(qiáng)振動(dòng)或溫度波動(dòng)較大的環(huán)境中使用。測量高反光樣品時(shí),可降低光源強(qiáng)度以防止過曝。日常維護(hù)包括用軟布清潔鏡頭和校準(zhǔn)參考鏡。每年建議由專業(yè)人員進(jìn)行系統(tǒng)校驗(yàn),以保持測量一致性。
該設(shè)備在光伏產(chǎn)業(yè)、薄膜技術(shù)和微加工中有較多應(yīng)用,如太陽能電池表面檢測或光學(xué)鍍膜質(zhì)量評估。通過合理使用,可提升檢測效率和數(shù)據(jù)可靠性。
在材料方面,儀器基座采用阻尼材料以減少外部振動(dòng),光學(xué)組件安裝在溫度穩(wěn)定性較高的結(jié)構(gòu)上,降低熱脹冷縮帶來的誤差。樣品臺通常由不銹鋼制成,表面經(jīng)過防腐蝕處理,適合多種環(huán)境使用。
該產(chǎn)品提供多種型號,例如標(biāo)準(zhǔn)型、高速型和高分辨率型,滿足不同應(yīng)用場景的需求。標(biāo)準(zhǔn)型號適用于常規(guī)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,而高速型號適合生產(chǎn)線上的快速檢測。高分辨率型號則針對科研領(lǐng)域,提供更細(xì)致的表面細(xì)節(jié)捕捉。
布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀通過白光干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)高分辨率表面測量。其性能特點(diǎn)包括良好的重復(fù)性和適應(yīng)性,能夠處理不同反射率的樣品,從高反光金屬到透明薄膜均可測量。
設(shè)備采用LED白光光源,壽命較長且光譜穩(wěn)定,有利于保持測量的一致性。干涉鏡頭內(nèi)置參考鏡,通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)納米級精度的掃描移動(dòng)。系統(tǒng)內(nèi)置振動(dòng)補(bǔ)償算法,減少環(huán)境干擾對測量結(jié)果的影響。
在材料方面,儀器基座采用阻尼材料以減少外部振動(dòng),光學(xué)組件安裝在溫度穩(wěn)定性較高的結(jié)構(gòu)上,降低熱脹冷縮帶來的誤差。樣品臺通常由不銹鋼制成,表面經(jīng)過防腐蝕處理,適合多種環(huán)境使用。
該產(chǎn)品提供多種型號,例如標(biāo)準(zhǔn)型、高速型和高分辨率型,滿足不同應(yīng)用場景的需求。標(biāo)準(zhǔn)型號適用于常規(guī)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,而高速型號適合生產(chǎn)線上的快速檢測。高分辨率型號則針對科研領(lǐng)域,提供更細(xì)致的表面細(xì)節(jié)捕捉。
用途廣泛,包括MEMS器件測量、涂層厚度分析、磨損表面檢測等。使用時(shí)需注意環(huán)境光線控制,避免強(qiáng)光直射干擾測量。軟件提供多種分析工具,如粗糙度計(jì)算、體積分析和輪廓對比,幫助用戶全面評估表面特性。布魯克白光干涉輪廓儀使用指南
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