Zygo白光干涉儀憑借其穩(wěn)定的光學(xué)系統(tǒng)，適用于高精度表面測(cè)量。Zygo光學(xué)輪廓儀的材料與參數(shù)解析

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

儀器采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)需求升級(jí)物鏡、光源和軟件功能。其光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，減少雜散光干擾，提高信噪比。

用材與工藝

• •主體框架采用鋁合金，輕量且抗震。

• •光學(xué)鏡片采用低膨脹系數(shù)玻璃，減少溫漂影響。

• •運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用精密導(dǎo)軌，確保掃描穩(wěn)定性。

參數(shù)表（示例型號(hào)：Zygo Nexview）

• •垂直測(cè)量范圍：1 nm 至 1 mm

• •橫向分辨率：0.3 μm（100×物鏡）

• •重復(fù)精度：±0.05 nm

• •最大樣品高度：50 mm

用途

適用于光學(xué)鍍膜檢測(cè)、微電子封裝測(cè)量、精密模具表面分析等。

使用說(shuō)明

1.開機(jī)后運(yùn)行系統(tǒng)自檢。

2.選擇測(cè)量模式（單點(diǎn)、線掃描或面掃描）。

3.調(diào)整干涉對(duì)比度，優(yōu)化測(cè)量效果。

4.保存數(shù)據(jù)并生成報(bào)告。

Zygo光學(xué)輪廓儀的材料與參數(shù)解析