Zygo白光干涉儀的正確使用與維護(hù)可延長(zhǎng)設(shè)備壽命并保證測(cè)量精度。Zygo白光干涉儀的操作維護(hù)指南

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

設(shè)備配備智能溫控系統(tǒng)，減少環(huán)境溫度波動(dòng)的影響。軟件支持自動(dòng)化腳本，可批量處理數(shù)據(jù)。

維護(hù)要點(diǎn)

• •每月檢查光學(xué)鏡片清潔度。

• •每季度校準(zhǔn)參考鏡與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

• •避免強(qiáng)磁場(chǎng)或振動(dòng)環(huán)境使用。

參數(shù)表（示例型號(hào)：Zygo NewView 5000）

• •測(cè)量速度：10幀/秒

• •數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：支持云同步

• •兼容性：Windows/Linux系統(tǒng)

用途

適用于高校實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)研發(fā)中心等。

使用說明

1.輕拿輕放，避免碰撞光學(xué)部件。

2.使用后關(guān)閉光源，減少老化。

3.定期備份測(cè)量數(shù)據(jù)，防止丟失。

Zygo白光干涉儀的操作維護(hù)指南