ZYGO光學(xué)輪廓儀便捷的3D表面測(cè)量

ZYGO公司的ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀是一款設(shè)計(jì)緊湊、操作便捷的非接觸式表面測(cè)量系統(tǒng)。它繼承了ZYGO在光學(xué)干涉測(cè)量領(lǐng)域的經(jīng)驗(yàn)，旨在為生產(chǎn)線(xiàn)或?qū)嶒?yàn)室提供可靠的面形測(cè)量解決方案。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用材：
ZeGage Pro采用一體式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固。其核心光學(xué)系統(tǒng)被密封在一個(gè)熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性較高的外殼內(nèi)，有效減少了環(huán)境波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的干擾。儀器底座和主體結(jié)構(gòu)采用優(yōu)質(zhì)合金材料，保證了設(shè)備的剛性。標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)由大理石或類(lèi)似穩(wěn)定材料制成，為樣品提供了平穩(wěn)的測(cè)量平臺(tái)。

產(chǎn)品性能與用途：
該儀器基于相干掃描干涉（CSI）技術(shù)，能夠?qū)某饣酱植冢ㄗ罡呖蛇_(dá)1.2 mm RMS）的多種表面進(jìn)行三維形貌測(cè)量。它適用于質(zhì)量控制、生產(chǎn)檢測(cè)和研發(fā)等領(lǐng)域，常見(jiàn)于測(cè)量半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工部件、材料表面等的粗糙度、臺(tái)階高度、面形輪廓等參數(shù)。其自動(dòng)化功能簡(jiǎn)化了操作流程，用戶(hù)可通過(guò)軟件輕松設(shè)置測(cè)量點(diǎn)位并執(zhí)行自動(dòng)測(cè)量。

使用說(shuō)明：
操作ZeGage Pro通常通過(guò)隨機(jī)附帶的MetroPro®軟件進(jìn)行。用戶(hù)將樣品放置于工作臺(tái)上，通過(guò)軟件控制電動(dòng)載物臺(tái)移動(dòng)至測(cè)量位置，使用內(nèi)置攝像頭聚焦，然后選擇測(cè)量程序并開(kāi)始掃描。儀器會(huì)自動(dòng)完成一系列干涉圖的采集與計(jì)算，并生成三維形貌圖和多達(dá)上百種參數(shù)的分析結(jié)果。

主要參數(shù)表：

ZYGO光學(xué)輪廓儀便捷的3D表面測(cè)量