ZYGO三款光學(xué)輪廓儀對(duì)比

ZYGO的ZeGage Pro、NewView 9000和Nexview NX2均基于成熟的CSI技術(shù)，但在設(shè)計(jì)理念和應(yīng)用定位上各有側(cè)重，為用戶提供了不同層次的選擇。

定位與設(shè)計(jì)對(duì)比：

• ZeGage Pro：定位為便捷式解決方案。一體式設(shè)計(jì)使其開(kāi)箱即可使用，減少了復(fù)雜的配置過(guò)程，適合空間有限的生產(chǎn)線或需要快速部署的實(shí)驗(yàn)室。

• NewView 9000：定位為靈活可擴(kuò)展的研發(fā)級(jí)平臺(tái)。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶根據(jù)未來(lái)需求升級(jí)系統(tǒng)功能，適用于多變的研究和開(kāi)發(fā)環(huán)境。

• Nexview NX2：定位為專(zhuān)用型在線檢測(cè)系統(tǒng)。其一切設(shè)計(jì)都圍繞處理大尺寸晶圓和實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化檢測(cè)，專(zhuān)為半導(dǎo)體制造流程優(yōu)化。

性能與用途對(duì)比：
三款儀器在核心測(cè)量能力（垂直分辨率、精度）上均表現(xiàn)出色，但擴(kuò)展性和專(zhuān)長(zhǎng)不同。

• ZeGage Pro：覆蓋從光滑到粗糙表面的常規(guī)測(cè)量需求，勝任日常質(zhì)檢。

• NewView 9000：通過(guò)更換物鏡和添加模塊，可應(yīng)對(duì)更廣泛的樣品類(lèi)型和更復(fù)雜的分析任務(wù)，如薄膜應(yīng)力。

• Nexview NX2：專(zhuān)注于半導(dǎo)體行業(yè)，其價(jià)值體現(xiàn)在全自動(dòng)、大批量的晶圓處理和分析能力上，速度和自動(dòng)化可靠性是關(guān)鍵。

選擇建議：
用戶應(yīng)根據(jù)自身的樣品尺寸、通量要求、檢測(cè)環(huán)境（實(shí)驗(yàn)室或產(chǎn)線）以及未來(lái)需求來(lái)選擇。對(duì)于常規(guī)質(zhì)檢，ZeGage Pro可能更為經(jīng)濟(jì)高效；對(duì)于前沿研發(fā)，NewView 9000提供更多可能性；而對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)線，Nexview NX2則是經(jīng)過(guò)市場(chǎng)驗(yàn)證的專(zhuān)業(yè)選擇。

ZYGO三款光學(xué)輪廓儀對(duì)比