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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
多技術(shù)融合:S neox應(yīng)對(duì)復(fù)雜測(cè)量挑戰(zhàn)?
多技術(shù)融合:S neox應(yīng)對(duì)復(fù)雜測(cè)量挑戰(zhàn)?在現(xiàn)代自動(dòng)化生產(chǎn)線上,如何將高精度的三維檢測(cè)技術(shù)無(wú)縫集成,是實(shí)現(xiàn)智能制造的關(guān)鍵一環(huán)。Sensofar的S mart2集成式3D共焦白光干涉測(cè)量頭,正是為此而生的解決方案。它將復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)濃縮在一個(gè)緊湊的工業(yè)級(jí)外殼內(nèi),易于集成到機(jī)械臂、CNC機(jī)床或定制自動(dòng)化設(shè)備中。
面對(duì)日益復(fù)雜的樣品和更高的檢測(cè)要求,單一測(cè)量技術(shù)有時(shí)會(huì)顯得力不從心。Sensofar S neox的多技術(shù)融合特性,使其能夠從容應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的表面測(cè)量挑戰(zhàn),為用戶提供一個(gè)更全面、更可靠的工具。Sensofar新型共聚焦白光干涉輪廓儀
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能
S neox的“多技術(shù)融合"并非簡(jiǎn)單拼湊,而是深層次整合。其智能系統(tǒng)能根據(jù)預(yù)設(shè)的程序,在同一視場(chǎng)內(nèi)自動(dòng)切換不同的測(cè)量技術(shù)。例如,可以先使用共聚焦模式快速掃描整個(gè)區(qū)域并識(shí)別出具有不同特征的子區(qū)域,然后針對(duì)光滑區(qū)域自動(dòng)切換到干涉模式進(jìn)行納米級(jí)精度的測(cè)量。
這種智能的工作流程不僅保證了每個(gè)特征都能用最合適的技術(shù)進(jìn)行測(cè)量,還避免了人為切換帶來(lái)的誤差和時(shí)間消耗。True Color技術(shù)還能在測(cè)量形貌的同時(shí),捕獲真實(shí)的表面顏色信息,為分析提供更多維度的參考。
用途深入解析
在MEMS器件測(cè)量中,既有高深寬比的結(jié)構(gòu)(適合共聚焦),又有光滑的反射面(適合干涉),S neox可一次測(cè)量全面表征。在透明薄膜測(cè)量中,共聚焦模式可以過(guò)濾掉底層反射的干擾,準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表面形貌。在混合材料樣品上,不同材質(zhì)的反射率差異巨大,多技術(shù)選擇確保了測(cè)量的成功率。
使用說(shuō)明
用戶可以在SensoMAP軟件中輕松設(shè)置測(cè)量序列(Recipe),將不同技術(shù)的測(cè)量步驟、物鏡選擇、參數(shù)設(shè)置等保存下來(lái)。日后遇到同類樣品,只需調(diào)用該Recipe,即可實(shí)現(xiàn)一鍵式全自動(dòng)測(cè)量,極大降低了對(duì)操作人員的技術(shù)要求,保證了測(cè)量結(jié)果的一致性和可重復(fù)性。Sensofar新型共聚焦白光干涉輪廓儀
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