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三維光學(xué)輪廓儀
布魯克三維光學(xué)輪廓儀
ContourX-200布魯克輪廓儀:中小量程測量優(yōu)選
布魯克輪廓儀:中小量程測量優(yōu)選在精密測量領(lǐng)域,并非所有場景都需要超大量程的檢測設(shè)備,中小量程的精準(zhǔn)測量需求同樣廣泛。無論是電子元器件的微小表面檢測,還是科研實(shí)驗(yàn)中局部微觀結(jié)構(gòu)的分析,都需要一款適配性強(qiáng)、性能可靠的測量儀器。ContourX-200 三維光學(xué)輪廓儀,正是針對這類需求打造,憑借緊湊設(shè)計(jì)與穩(wěn)定性能,成為中小量程測量場景的理想選擇。
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參數(shù) | 詳情 |
最大掃描量程 | ≤5 mm |
垂直分辨率 | <0.02 nm |
水平分辨率 | 0.5 μm(Sparrow 準(zhǔn)則) |
臺階高度準(zhǔn)確性 | <1.0% |
臺階高度重復(fù)性 | <0.2% 1 sigma repeatability |
最大掃描速度 | 25 μm/sec(標(biāo)準(zhǔn)攝像頭配置) |
樣品反射率范圍 | 0.1% 到 100% |
最大樣品傾角 | ≤35°(光滑表面);≤80°(粗糙表面) |
樣品高度 | ≤80 mm(3.15 in.) |
XY 樣品臺 | 100 mm(4 in.)手動調(diào)節(jié)樣品臺(可選配半自動編碼器) |
Z 軸聚焦 | 手動 / 半自動可選 |
傾斜功能 | ±3° 手動調(diào)節(jié) |
光學(xué)計(jì)量模塊 | 定制化單色 LED 照明;單物鏡適配器;可選手動物鏡轉(zhuǎn)盤 |
物鏡 | Parfocal: 5X, 10X, 20X, 50X;LWD: 2X, 5X, 10X |
放大器 | 0.75X, 1X, 1.5X |
攝像頭 | 單色(標(biāo)準(zhǔn));3 MP with 800×600 data array |
軟件系統(tǒng) | VisionXpress 基礎(chǔ)版分析軟件(兼容 Windows 10 OS;32/64-bit) |
自動測量功能 | 可選配半自動掃描、自動聚焦(需升級模塊) |
校準(zhǔn) | 通過 NIST/PTB 可追溯臺階高度與橫向標(biāo)尺標(biāo)準(zhǔn) |
設(shè)備尺寸 | 400 mm(W)x 520 mm(D)x 650 mm(H) |
重量 | 55 kg |
保修期 | 12 months |
設(shè)備啟動與準(zhǔn)備:將儀器放置在水平工作臺面,連接電源與電腦(需安裝配套軟件),打開設(shè)備開關(guān)與軟件系統(tǒng)。等待儀器自檢完成(約 2-3 分鐘),期間避免觸碰樣品臺與光學(xué)部件。清潔樣品表面,去除灰塵、油污等雜質(zhì),防止影響測量結(jié)果。
樣品放置與定位:根據(jù)樣品尺寸,調(diào)整樣品臺夾具(若樣品較小,可使用專用載物片固定),將樣品平穩(wěn)放置在樣品臺中央。通過手動旋鈕移動樣品臺,配合軟件中的實(shí)時(shí)圖像,將待測量區(qū)域調(diào)整至視野中心,確保成像清晰。
參數(shù)設(shè)置與測量:在軟件中選擇測量模式(手動 / 半自動),設(shè)置掃描量程(建議根據(jù)樣品預(yù)估高度差選擇,避免量程過大影響效率)、分辨率等參數(shù)。點(diǎn)擊 “開始測量",儀器將自動(或半自動)完成掃描,過程中保持環(huán)境穩(wěn)定,避免震動與強(qiáng)光直射。
數(shù)據(jù)處理與保存:測量完成后,軟件將自動生成三維形貌圖與相關(guān)參數(shù)(如粗糙度 Ra、Rz 等)??衫密浖械姆治龉ぞ哌M(jìn)行數(shù)據(jù)篩選、標(biāo)注,生成測量報(bào)告。確認(rèn)數(shù)據(jù)無誤后,選擇合適格式(如 Excel、圖片格式)保存報(bào)告,便于后續(xù)分析與存檔。
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