布魯克ContourX系列輪廓儀核心技術

產品簡介

詳解布魯克ContourX系列輪廓儀核心技術
在表面計量學領域，對物體表面微觀形貌進行非接觸、高分辨率的測量是一項關鍵需求。

產品型號：ContourX-100

更新時間：2025-09-05

廠商性質：代理商

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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詳解布魯克ContourX系列輪廓儀核心技術 在表面計量學領域，對物體表面微觀形貌進行非接觸、高分辨率的測量是一項關鍵需求。Bruker的ContourX系列三維光學輪廓儀，包含ContourX-500、ContourX-200和ContourX-100三個型號，為不同需求的用戶提供了多樣化的選擇。該系列儀器基于白光干涉技術（VSI）和相移干涉技術（PSI），能夠以納米級垂直分辨率重建表面的三維形貌。

ContourX系列的核心在于其智能化的自動化操作和用戶友好的設計。儀器采用穩(wěn)固的鋼結構框架和隔振設計，保證了測量過程中的穩(wěn)定性，有效隔離環(huán)境振動帶來的干擾。其光學系統(tǒng)搭載了多種倍率的物鏡，用戶可根據測量區(qū)域的大小和分辨率要求自動切換，無需手動操作，既提高了效率，也避免了人為誤差。

在用途上，該系列儀器廣泛應用于半導體、光學、材料、精密制造等行業(yè)。無論是測量硅片的臺階高度、光學鏡面的面形，還是機械零件的粗糙度，ContourX系列都能提供有價值的量化數據。其非接觸的特性使其特別適合測量柔軟、易磨損或需要無損檢測的樣品。

使用說明簡述：

操作流程直觀簡便。用戶將樣品放置在樣品臺上，通過軟件控制臺面移動至測量位置。選擇合適的物鏡后，軟件會自動完成聚焦和光強調節(jié)。用戶設定掃描范圍，儀器即可自動完成三維數據的采集。隨后，利用分析軟件可進行形貌可視化、粗糙度計算、臺階高度測量等多種分析。

參數簡表（系列共通點）：

參數	描述
技術原理	白光干涉(VSI)與相移干涉(PSI)
垂直分辨率	<0.1 nm (PSI模式)
物鏡	多種倍率自動切換
平臺	電動X-Y平臺，自動調平
軟件	Vision64® 全功能分析軟件
隔振	集成式隔振系統(tǒng)