ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 憑借可靠的性能與靈活的適配性，已在多個行業(yè)落地應(yīng)用。同時，科學(xué)的日常維護(hù)能延長設(shè)備使用壽命，其便捷的數(shù)據(jù)處理功能也為用戶帶來高效體驗(yàn)，全方滿足精密測量需求。
多行業(yè)深度應(yīng)用案例
新能源電池行業(yè)
在鋰電池極片生產(chǎn)中，極片表面的平整度與涂層厚度均勻性直接影響電池的能量密度與安全性。某鋰電池制造商引入 ZeGage Pro 后，通過搭配 10 倍物鏡對極片表面進(jìn)行掃描，可在 10 秒內(nèi)完成一塊 100mm×50mm 極片的表面形貌測量，精準(zhǔn)獲取涂層厚度偏差數(shù)據(jù)（測量誤差小于 2μm）。借助設(shè)備生成的三維形貌圖，技術(shù)人員能快速定位涂層過厚、漏涂等缺陷區(qū)域，及時調(diào)整涂布機(jī)參數(shù)，使極片不良率從之前的 3% 降至 0.5%，顯著提升生產(chǎn)質(zhì)量與效率。此外，該設(shè)備還可用于電池隔膜的孔徑尺寸與分布測量，為隔膜選材與生產(chǎn)工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。
航空航天零部件制造行業(yè)
航空發(fā)動機(jī)渦輪葉片的表面粗糙度與葉型精度對發(fā)動機(jī)性能至關(guān)重要。某航空制造企業(yè)使用 ZeGage Pro 對渦輪葉片進(jìn)行檢測，針對葉片復(fù)雜的曲面結(jié)構(gòu)，通過設(shè)備的多角度測量功能（支持 0°-90° 范圍內(nèi)的角度調(diào)節(jié)），可完整捕捉葉片表面的微觀紋理。測量結(jié)果顯示，設(shè)備對葉片表面粗糙度（Ra）的測量重復(fù)性誤差小于 0.005μm，葉型輪廓偏差測量誤差小于 3μm，能精準(zhǔn)識別葉片表面的微小劃痕與變形?；谶@些數(shù)據(jù)，企業(yè)優(yōu)化了葉片拋光工藝，使葉片使用壽命延長 20%，同時降低了發(fā)動機(jī)運(yùn)行中的能耗。
微電子封裝行業(yè)
在芯片倒裝焊封裝過程中，凸點(diǎn)高度與間距的一致性是保證芯片與基板可靠連接的關(guān)鍵。某微電子封裝企業(yè)采用 ZeGage Pro 的自動對焦功能，可快速定位芯片凸點(diǎn)區(qū)域，搭配 20 倍物鏡對凸點(diǎn)進(jìn)行測量，單個凸點(diǎn)的高度測量時間僅需 0.5 秒，且測量誤差小于 0.3μm。通過批量測量凸點(diǎn)數(shù)據(jù)，軟件能自動生成統(tǒng)計(jì)報告，清晰呈現(xiàn)凸點(diǎn)高度分布情況，幫助企業(yè)及時發(fā)現(xiàn)凸點(diǎn)高度超差問題，將封裝良率提升至 99.2%。此外，設(shè)備還可用于封裝膠體的表面平整度測量，確保膠體封裝后不會對芯片性能產(chǎn)生不良影響。
設(shè)備日常維護(hù)要點(diǎn)
光學(xué)系統(tǒng)維護(hù)
光學(xué)鏡頭是設(shè)備的核心部件，需每周進(jìn)行清潔。清潔時，先使用吹氣球輕輕吹去鏡頭表面的灰塵，避免灰塵顆粒劃傷鏡頭；再用專用鏡頭紙蘸取少量鏡頭清潔劑，沿鏡頭中心向邊緣順時針輕輕擦拭，每擦拭一次更換一張鏡頭紙，防止污漬重復(fù)附著。注意避免使用酒精等腐蝕性清潔劑，以免損壞鏡頭鍍膜。同時，每月需檢查光源亮度，若發(fā)現(xiàn)亮度衰減超過 10%，應(yīng)及時更換 LED 燈珠（更換時需關(guān)閉設(shè)備電源，使用專用工具拆卸光源組件，避免觸碰燈珠表面）。
機(jī)械結(jié)構(gòu)維護(hù)
測量臺面需每月清潔，用無塵布蘸取中性清潔劑擦拭臺面表面，去除殘留的工件碎屑與污漬，隨后用干布擦干，防止臺面生銹或磨損。每季度檢查一次壓電掃描單元的運(yùn)行狀態(tài)，開啟設(shè)備后，通過軟件的 “掃描單元測試" 功能，觀察掃描過程是否順暢，若出現(xiàn)卡頓或位移偏差超標(biāo)的情況，需聯(lián)系專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行校準(zhǔn)。此外，每年需對設(shè)備的滾珠導(dǎo)軌進(jìn)行潤滑維護(hù)，涂抹專用的精密導(dǎo)軌潤滑油（每次涂抹量控制在 0.5ml 以內(nèi)），確保導(dǎo)軌運(yùn)動靈活，減少摩擦損耗。
軟件與數(shù)據(jù)維護(hù)
定期備份測量數(shù)據(jù)，建議每周將數(shù)據(jù)存儲至專用服務(wù)器或移動硬盤，避免因設(shè)備故障導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失。每兩個月更新一次設(shè)備測量軟件，可通過 ZYGO 網(wǎng)站下載最新版本，更新前需關(guān)閉設(shè)備所有運(yùn)行程序，確保更新過程穩(wěn)定。同時，每月對軟件進(jìn)行病毒查殺，防止惡意軟件影響軟件正常運(yùn)行與數(shù)據(jù)安全。若遇到軟件操作問題，可通過軟件內(nèi)置的 “幫助中心" 查詢解決方案，或聯(lián)系 ZYGO 技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)獲取遠(yuǎn)程協(xié)助。
數(shù)據(jù)處理優(yōu)勢
ZeGage Pro 搭載的專用測量軟件具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，支持多種數(shù)據(jù)格式（如 ASCII、CSV、STL）的導(dǎo)入與導(dǎo)出，方便與 CAD、CAE 等設(shè)計(jì)軟件協(xié)同使用。軟件內(nèi)置豐富的分析模塊，除基礎(chǔ)的粗糙度、平面度計(jì)算外，還支持輪廓度、曲率半徑、體積等參數(shù)的分析。例如，在光學(xué)鏡片測量中，軟件可自動計(jì)算鏡片的面型誤差（如 PV 值、RMS 值），并生成符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的檢測報告，報告中包含三維形貌圖、數(shù)據(jù)表格、誤差曲線等內(nèi)容，直觀呈現(xiàn)測量結(jié)果。
此外，軟件支持批量數(shù)據(jù)處理功能，用戶可一次性導(dǎo)入多個測量文件，設(shè)置統(tǒng)一的分析參數(shù)后，軟件將自動完成所有數(shù)據(jù)的分析與報告生成，大幅減少人工操作時間。對于復(fù)雜的測量數(shù)據(jù)，軟件還提供數(shù)據(jù)濾波功能（如高斯濾波、中值濾波），可去除測量過程中的干擾信號，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。同時，軟件具備用戶權(quán)限管理功能，可根據(jù)不同崗位設(shè)置不同的操作權(quán)限（如操作員僅能進(jìn)行測量操作，管理員可進(jìn)行參數(shù)設(shè)置與數(shù)據(jù)刪除），保障數(shù)據(jù)安全與操作規(guī)范。
無論是在各行業(yè)的深度應(yīng)用、科學(xué)的日常維護(hù)，還是便捷的數(shù)據(jù)處理方面，ZeGage Pro 都展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢，為用戶提供精準(zhǔn)、高效、穩(wěn)定的精密測量解決方案，助力各行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
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