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光學(xué)顯微鏡
奧林巴斯顯微鏡
OLS5100共聚焦顯微鏡科研與工業(yè)的觀測利器
OLS5100共聚焦顯微鏡科研與工業(yè)的觀測利器在科研與工業(yè)檢測領(lǐng)域,對微觀結(jié)構(gòu)的精確觀察和分析至關(guān)重要。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100,以其獨特的設(shè)計和強(qiáng)大的功能,為科研人員和工業(yè)檢測人員提供了可靠的觀測工具。
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解鎖微觀奧秘:OLS5100共聚焦顯微鏡
在科研與工業(yè)檢測領(lǐng)域,對微觀結(jié)構(gòu)的精確觀察和分析至關(guān)重要。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100,以其獨特的設(shè)計和強(qiáng)大的功能,為科研人員和工業(yè)檢測人員提供了可靠的觀測工具。
OLS5100的X-Y掃描儀是其一大亮點。它通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,從而實現(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。這種設(shè)計使得掃描圖像更加清晰、準(zhǔn)確,為后續(xù)的數(shù)據(jù)分析提供了可靠的基礎(chǔ)。
設(shè)備配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))也十分出色。彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息,激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深特性使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性,同時還能捕捉任意表面形狀,快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
為了確保設(shè)備的穩(wěn)定性和耐用性,OLS5100在選材上十分講究。機(jī)身外殼采用冷軋鋼板,表面經(jīng)過防靜電噴涂處理,能抵抗實驗室常見化學(xué)試劑的腐蝕,同時減少靜電對電子元件的影響。內(nèi)部光學(xué)部件采用高純度光學(xué)玻璃,經(jīng)過精密加工和鍍膜處理,提高了光的透過率和成像質(zhì)量。機(jī)械部件采用高強(qiáng)度合金材料,經(jīng)過特殊處理,具有耐磨、耐腐蝕的特點,能夠保證設(shè)備的長期穩(wěn)定運行。
參數(shù)項 | 具體數(shù)值 |
---|---|
激光器類型 | 激光共聚焦顯微鏡OLS5100可觀察納米范圍的臺階 |
掃描方式 | X軸采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀,Y軸采用Galvano掃描振鏡 |
物鏡 | 深度可達(dá)25毫米的凹坑,配備多種倍率物鏡可選 |
焦點位置估算 | 可根據(jù)焦點位置(Z)和檢測光強(qiáng)度(I)估算 |
圖像采集速度 | 提供四倍于上一代型號的采集速度 |
樣品容納尺寸 | 長工作距離物鏡和選配的擴(kuò)展機(jī)架使得系統(tǒng)能夠適用于最大為210mm的樣本 |
OLS5100有多種型號可供選擇,不同型號在功能和應(yīng)用場景上略有差異,用戶可根據(jù)自身需求進(jìn)行挑選。
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,OLS5100可用于檢測芯片表面的微觀缺陷、測量薄膜的厚度和均勻性等;在電子元器件檢測中,能夠觀察元器件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面形貌,分析其性能和質(zhì)量;在材料科學(xué)研究方面,可對材料的微觀組織、晶體結(jié)構(gòu)等進(jìn)行觀察和分析,為材料的設(shè)計和改進(jìn)提供依據(jù)。
使用OLS5100時,首先將設(shè)備連接到穩(wěn)定的電源和合適的計算機(jī)系統(tǒng)。打開設(shè)備電源開關(guān),等待設(shè)備初始化完成。將樣品放置在樣品臺上,根據(jù)樣品的大小和形狀調(diào)整樣品臺的位置和角度。通過計算機(jī)軟件設(shè)置掃描參數(shù),如掃描范圍、分辨率、掃描速度等。點擊“開始掃描"按鈕,設(shè)備將自動進(jìn)行掃描和圖像采集。掃描完成后,使用軟件對圖像進(jìn)行處理和分析,如測量、標(biāo)注、三維重建等。最后,保存分析結(jié)果和數(shù)據(jù),關(guān)閉設(shè)備和計算機(jī)。
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