DM8000M 的機(jī)械結(jié)構(gòu)以高剛性與低振動(dòng)為設(shè)計(jì)目標(biāo)。機(jī)身主體采用航空級(jí)鋁合金框架，配合內(nèi)部鋼制支撐件，形成了一個(gè)整體剛性超過(guò) 95?% 的結(jié)構(gòu)體系。該結(jié)構(gòu)能夠在高速掃描過(guò)程中抑制外部振動(dòng)對(duì)圖像的影響，保證了圖像的清晰度與測(cè)量的重復(fù)性。徠卡DM8000M 顯微鏡機(jī)械結(jié)構(gòu)與材料選用

載物臺(tái)是本機(jī)的關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)部件，采用了精密滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，配合線性編碼器，實(shí)現(xiàn)了 0.01?µm 的步進(jìn)精度。滾珠絲杠的材料為高硬度合金鋼，表面經(jīng)過(guò)氮化處理，以提升耐磨性和抗腐蝕性。

在樣品固定方面，DM8000M 配備了專用的 8?inch 晶圓夾具，夾具本體采用不銹鋼材料，表面進(jìn)行電泳涂層處理，防止在長(zhǎng)期使用中產(chǎn)生劃痕或污染。夾具的設(shè)計(jì)考慮了晶圓的熱膨脹系數(shù)，能夠在不同溫度環(huán)境下保持穩(wěn)定的夾持力。

主要機(jī)械參數(shù)

材料優(yōu)勢(shì)

• 鋁合金：重量輕、散熱快，便于移動(dòng)與維護(hù)。

• 鋼制支撐：提供高剛性，確保在高速掃描時(shí)結(jié)構(gòu)不變形。

• 氮化合金鋼：耐磨、抗腐蝕，延長(zhǎng)使用壽命。

• 電泳涂層不銹鋼：防止金屬離子泄漏，保持樣品潔凈。

維護(hù)與保養(yǎng)

1. 定期檢查螺紋：滾珠絲杠與螺母的潤(rùn)滑油每 6 個(gè)月更換一次，防止磨損。

2. 清潔機(jī)身：使用柔軟的無(wú)絨布擦拭機(jī)身，避免使用含有腐蝕性化學(xué)劑的清潔劑。

3. 校準(zhǔn)載物臺(tái)：每次長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后，使用內(nèi)置校準(zhǔn)程序檢查載物臺(tái)的平行度與定位精度。

通過(guò)嚴(yán)選材料與精密機(jī)械加工，DM8000M 在高負(fù)荷、長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的生產(chǎn)環(huán)境中能夠保持穩(wěn)定的性能表現(xiàn)，為半導(dǎo)體檢測(cè)提供可靠的硬件支撐。

通過(guò)上述光學(xué)設(shè)計(jì)與成像優(yōu)勢(shì)，DM8000M 能夠在高產(chǎn)能半導(dǎo)體檢測(cè)環(huán)境中提供可靠、細(xì)致的圖像信息，幫助用戶快速定位并分析缺陷。徠卡DM8000M 顯微鏡機(jī)械結(jié)構(gòu)與材料選用