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DSX1000顯微鏡宏觀到微觀連續(xù)觀察解決方案
DSX1000顯微鏡宏觀到微觀連續(xù)觀察解決方案DSX1000突破傳統(tǒng)顯微鏡倍率切換斷層,通過電動(dòng)變焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)20-7000倍無縫過渡。
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DSX1000突破傳統(tǒng)顯微鏡倍率切換斷層,通過電動(dòng)變焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)20-7000倍無縫過渡。其核心優(yōu)勢在于“宏觀地圖"功能:在7000倍觀察晶圓微缺陷時(shí),屏幕同步顯示該區(qū)域在20倍整體圖像中的位置,避免分析過程中定位丟失。六種觀察模式(含新增簡易偏振)支持一鍵切換,例如從明場觀察電路板焊點(diǎn)切換至暗場檢測鍍層均勻性僅需0.3秒。
參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格 |
---|---|
放大倍率 | 20-7000X(依賴物鏡配置) |
物鏡數(shù)量 | 17種(含0.35mm-66.1mm工作距離) |
照明方式 | LED環(huán)形光/同軸落射光/透射光 |
觀察方法 | 明場/暗場/MIX/偏光/DIC/微分干涉 |
圖像輸出 | 2D高清圖/3D模型/測量數(shù)據(jù) |
典型型號 | DSX1000-SZH(標(biāo)準(zhǔn)型) |
DSX1000-UZH(通用型,含3CMOS模式) |
在半導(dǎo)體制造中,DSX1000通過MIX照明模式可同時(shí)捕捉晶圓表面劃痕與內(nèi)部層間缺陷;汽車行業(yè)利用其長工作距離物鏡檢測發(fā)動(dòng)機(jī)缸體毛刺,避免傳統(tǒng)顯微鏡碰撞風(fēng)險(xiǎn);材料科學(xué)領(lǐng)域則通過3D重建功能分析金屬疲勞裂紋擴(kuò)展路徑,為材料改性提供數(shù)據(jù)支持。
樣品固定:使用磁性夾具固定金屬樣品,避免振動(dòng)干擾;
參數(shù)預(yù)設(shè):通過“PERCiV for DSX1000"軟件加載半導(dǎo)體檢測模板,自動(dòng)匹配照明強(qiáng)度與對比度;
多角度采集:旋轉(zhuǎn)載物臺至45°角,切換至偏光模式觀察應(yīng)力分布;
數(shù)據(jù)分析:導(dǎo)出3D模型至SolidWorks,進(jìn)行逆向工程仿真。
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