布魯克ContourX-500的硬件配置與參數(shù)解析

一臺測量儀器的能力邊界由其硬件配置和關(guān)鍵參數(shù)所界定。深入了解ContourX-500的硬件構(gòu)成與技術(shù)參數(shù)，有助于用戶根據(jù)自身需求進(jìn)行評估和應(yīng)用。

核心硬件配置

• 主機(jī)框架： 采用剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，旨在為內(nèi)部光學(xué)和機(jī)械部件提供穩(wěn)定的支撐。底座通常內(nèi)置被動(dòng)或主動(dòng)減震單元。

• Z向掃描系統(tǒng)： 采用壓電陶瓷促動(dòng)器或高精度伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)垂直方向的納米級步進(jìn)掃描。其掃描范圍（如0.1mm至數(shù)毫米）和閉環(huán)定位精度是重要指標(biāo)。

• XY載物臺： 多為手動(dòng)或電動(dòng)平臺。電動(dòng)平臺可實(shí)現(xiàn)程序化控制的多點(diǎn)自動(dòng)測量，提升批量檢測的效率。行程范圍需滿足樣品的定位需求。

• 干涉物鏡套組： 提供多種倍率選擇，是決定測量視野和分辨率的關(guān)鍵。通常配備可自動(dòng)切換的物鏡轉(zhuǎn)盤。

• 相機(jī)系統(tǒng)： 采用科學(xué)級CCD或CMOS相機(jī)，其像素?cái)?shù)量決定了單次測量的橫向點(diǎn)數(shù)，動(dòng)態(tài)范圍影響對不同反射率表面的適應(yīng)性。

• 照明系統(tǒng)： 集成高亮度LED白光光源，壽命長，穩(wěn)定性好。

關(guān)鍵參數(shù)表（示例，具體型號可能有所不同）

參數(shù)解讀與應(yīng)用選擇

• 垂直分辨率 vs. 測量范圍： 這是一對需要權(quán)衡的參數(shù)。高倍物鏡（如50X）能提供優(yōu)異的垂直分辨率，但Z向掃描范圍和橫向視野會相應(yīng)減小。用戶需根據(jù)待測樣品的起伏程度和所需觀察的細(xì)節(jié)來選擇合適的物鏡。

• 橫向分辨率： 主要由物鏡的數(shù)值孔徑和相機(jī)的像素?cái)?shù)量共同決定。更高的數(shù)值孔徑和更多的像素能提供更細(xì)致的橫向細(xì)節(jié)。

• 測量速度： 受掃描速度、相機(jī)幀率和數(shù)據(jù)處理能力影響。對于需要快速統(tǒng)計(jì)性測量的場景，這是一個(gè)值得關(guān)注的參數(shù)。

通過審視ContourX-500的硬件配置和參數(shù)表，用戶可以清晰地了解其能力范圍，從而判斷其是否適用于特定的測量任務(wù)，如微米級粗糙度分析、薄膜臺階高度測量或是MEMS器件形貌表征等。