ZYGO光學(xué)輪廓儀操作：輕松上手的測(cè)量工具
ZYGO Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀在操作設(shè)計(jì)上，充分考慮不同用戶的使用習(xí)慣，讓新手也能快速熟悉測(cè)量流程。其核心操作軟件采用直觀的分區(qū)布局，主界面上方為功能菜單欄，包含 “樣品管理"“測(cè)量設(shè)置"“數(shù)據(jù)處理" 等選項(xiàng)，每個(gè)選項(xiàng)下的子功能都配有清晰的文字說(shuō)明；中間是實(shí)時(shí)成像窗口，可同步顯示樣品的二維圖像與三維輪廓預(yù)覽；下方為操作進(jìn)度條與參數(shù)提示欄，方便用戶實(shí)時(shí)掌握測(cè)量狀態(tài)。
樣品定位環(huán)節(jié)十分便捷，軟件自帶 “智能尋焦" 功能，點(diǎn)擊后設(shè)備會(huì)自動(dòng)掃描樣品表面，快速找到清晰成像的焦距位置，無(wú)需手動(dòng)反復(fù)調(diào)節(jié)。若需精準(zhǔn)定位測(cè)量區(qū)域，用戶可在成像窗口中用鼠標(biāo)拖拽框選，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)記錄該區(qū)域坐標(biāo)，后續(xù)再次測(cè)量時(shí)直接調(diào)用坐標(biāo)即可，避免重復(fù)定位。測(cè)量模式選擇上，設(shè)備提供白光干涉、共聚焦、動(dòng)態(tài)模式等多種選項(xiàng)，每種模式都預(yù)設(shè)了適配常見(jiàn)樣品的參數(shù)，如測(cè)量光學(xué)鏡片時(shí)，調(diào)用 “光學(xué)元件" 預(yù)設(shè)模式，即可自動(dòng)匹配合適的掃描速度與分辨率；專業(yè)用戶也可在 “參數(shù)自定義" 界面調(diào)整橫向采樣間隔、縱向掃描范圍等參數(shù)，調(diào)整過(guò)程中軟件會(huì)實(shí)時(shí)顯示參數(shù)對(duì)應(yīng)的測(cè)量效果預(yù)覽，便于及時(shí)調(diào)整。
硬件操作同樣簡(jiǎn)單，電動(dòng)樣品臺(tái)通過(guò)軟件中的虛擬手柄控制，可實(shí)現(xiàn) X、Y、Z 軸的平穩(wěn)移動(dòng)，移動(dòng)速度可根據(jù)需求調(diào)節(jié)，最慢速度適合精細(xì)定位，最快速度方便快速切換樣品。樣品固定采用可調(diào)節(jié)卡扣式夾具，只需轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕即可夾緊樣品，適配從 5mm×5mm 的微型芯片到 150mm×150mm 的電路板等不同尺寸樣品，最大承重達(dá) 20kg，滿足多樣測(cè)量需求。批量測(cè)量時(shí)，軟件支持導(dǎo)入樣品坐標(biāo)列表，設(shè)備會(huì)按照列表順序自動(dòng)完成每個(gè)樣品的測(cè)量，測(cè)量完成后數(shù)據(jù)可自動(dòng)導(dǎo)出為 CSV、TIF 等格式，還能生成包含測(cè)量參數(shù)、結(jié)果分析的報(bào)告，減少人工整理數(shù)據(jù)的工作量。
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