ZYGO光學(xué)輪廓儀適配：滿足多樣檢測(cè)需求
Nexview™ NX2
光學(xué)輪廓儀通過豐富的輔助配件與靈活的軟件功能，適配不同類型樣品與檢測(cè)場(chǎng)景，為用戶提供多樣化的測(cè)量解決方案。在輔助夾具方面，設(shè)備提供多種專用夾具供選擇：真空吸附夾具通過 - 0.09MPa 至 0MPa 的可調(diào)負(fù)壓，將薄膜、柔性電路板等易變形樣品平整固定，避免因夾持力過大導(dǎo)致樣品褶皺或損壞；精密定位夾具配備微調(diào)旋鈕與十字對(duì)準(zhǔn)線，定位精度可達(dá) 1μm，適用于 MEMS 器件、微型傳感器等微小樣品的精準(zhǔn)定位測(cè)量。
針對(duì)特殊環(huán)境與樣品的檢測(cè)需求，高溫夾具可在室溫至 200℃的范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，滿足金屬材料高溫形變、陶瓷樣品高溫?zé)Y(jié)過程中的表面形貌測(cè)量；低溫夾具則能在 - 40℃至室溫范圍內(nèi)使用，適配低溫環(huán)境下如冷凍生物樣品、超導(dǎo)材料的檢測(cè)。防磁夾具采用無磁不銹鋼材質(zhì)制作，避免磁場(chǎng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的干擾，適用于磁性材料如永磁體、磁頭的表面形貌測(cè)量。
批量檢測(cè)場(chǎng)景中，設(shè)備可搭配自動(dòng)化上下料系統(tǒng)，該系統(tǒng)由機(jī)械臂、樣品托盤與傳送帶組成，機(jī)械臂根據(jù)預(yù)設(shè)程序?qū)悠窂耐斜P轉(zhuǎn)移至樣品臺(tái)，測(cè)量完成后再將樣品送至指定區(qū)域，每小時(shí)可完成 80-120 個(gè)樣品的測(cè)量，大幅提升檢測(cè)效率，減少人工操作成本。軟件適配能力同樣出色，15.6 英寸高清觸控屏支持多點(diǎn)觸控與手勢(shì)操作，如縮放、平移成像畫面，便捷調(diào)用常用功能；界面提供中文、英文、德語、法語等多語言選項(xiàng)，滿足不同地區(qū)用戶的使用需求。
軟件內(nèi)置 30 + 行業(yè)專用測(cè)量模板，涵蓋半導(dǎo)體、光學(xué)制造、汽車零部件、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，如半導(dǎo)體行業(yè)的 “晶圓檢測(cè)" 模板，預(yù)設(shè)了晶圓表面缺陷檢測(cè)、厚度測(cè)量的參數(shù)；光學(xué)制造行業(yè)的 “透鏡面型" 模板，適配透鏡的曲率半徑、面型誤差測(cè)量。用戶可根據(jù)樣品類型直接調(diào)用模板，無需重新設(shè)置參數(shù)；同時(shí)支持自定義模板保存，最多可存儲(chǔ) 100 組自定義參數(shù)，重復(fù)檢測(cè)相同類型樣品時(shí)直接調(diào)用，提升操作效率。“新手引導(dǎo)" 功能通過圖文結(jié)合的方式，分步講解從樣品固定、參數(shù)設(shè)置到數(shù)據(jù)導(dǎo)出的完整流程，幫助新手快速掌握設(shè)備操作，降低使用門檻。
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