Sensofar光學(xué)干涉儀半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用

產(chǎn)品簡介

Sensofar光學(xué)干涉儀半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用
Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量模式于一體的三維光學(xué)輪廓儀，適用于實驗室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線的表面形貌檢測。

產(chǎn)品型號：S?neox

更新時間：2025-10-13

廠商性質(zhì)：代理商

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Sensofar光學(xué)干涉儀半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓與 MEMS 器件：利用共聚焦?干涉協(xié)同測量，能夠同時獲取焊點高度、直徑和傾斜角等關(guān)鍵參數(shù)，重復(fù)性誤差控制在 0.3?% 以內(nèi)，幫助芯片制造商提升缺陷檢測效率約 40?%。
光學(xué)鏡片與薄膜厚度：白光干涉模式對亞納米級薄膜（5?nm?–?100?µm）實現(xiàn)無損厚度測量，配合偏振編碼技術(shù)可分離上下表面信號，滿足 OLED、AR 鍍膜等高精度光學(xué)元件的質(zhì)量控制需求。
生物醫(yī)學(xué)材料：在人工關(guān)節(jié)、組織支架等生物材料表面，S?neox 能提供 0.1?nm 縱向分辨率的微觀形貌數(shù)據(jù)，幫助研發(fā)團隊評估表面粗糙度對細(xì)胞黏附的影響。
新能源與儲氫容器：對金屬氫化物涂層進(jìn)行原位形變監(jiān)測，分辨率 ±0.1?µm，支持工藝參數(shù)的實時優(yōu)化。

三、S?neox參數(shù)與型號對比