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三維光學(xué)輪廓儀
布魯克
ContourX-500布魯克三維光學(xué)輪廓儀從設(shè)備啟動到數(shù)據(jù)分析
布魯克三維光學(xué)輪廓儀從設(shè)備啟動到數(shù)據(jù)分析ContourX-500的操作流程兼顧效率與準確性,通過標準化步驟與智能化輔助功能,降低用戶學(xué)習(xí)成本。
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布魯克三維光學(xué)輪廓儀從設(shè)備啟動到數(shù)據(jù)分析
ContourX-500的操作流程兼顧效率與準確性,通過標準化步驟與智能化輔助功能,降低用戶學(xué)習(xí)成本。
設(shè)備準備與校準
環(huán)境檢查:確保設(shè)備放置于水平臺面,溫度17-29℃、濕度30-65%,避免陽光直射與強振動源。
光學(xué)校準:開機預(yù)熱10分鐘后,啟動Vision64®軟件,選擇“系統(tǒng)校準"模塊,使用NIST溯源的臺階標樣(高度10μm)驗證垂直分辨率,重復(fù)測量30次的標準偏差應(yīng)<0.75%。
光路對齊:放置樣品前,通過“實時預(yù)覽"功能調(diào)整物鏡焦距與光強,確保干涉條紋清晰可見。
測量流程
樣品固定:使用真空吸盤或磁性夾具固定樣品,避免手動接觸導(dǎo)致污染。對于曲面樣品(如透鏡),需選用專用光學(xué)夾具并調(diào)整光軸對齊。
參數(shù)設(shè)置:根據(jù)樣品特征選擇測量模式(如PSI模式適用于平滑表面,VSI模式適用于臺階結(jié)構(gòu)),設(shè)置掃描范圍(最大5mm×5mm)、步長(推薦0.5μm)與拼接方式(自動或手動)。
數(shù)據(jù)采集:點擊“開始掃描"后,設(shè)備自動完成光強校準、背景校正與形貌重建,單次測量時間依區(qū)域大小而定(通常2-10分鐘)。
數(shù)據(jù)分析與導(dǎo)出
軟件支持三維形貌圖、截面曲線與統(tǒng)計報表的生成,數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為CSV、DXF或圖像格式(PNG、TIFF)。通過“批量處理"功能,用戶可同時分析多個樣品的數(shù)據(jù),并生成符合ISO 25178標準的定制化報告。
布魯克三維光學(xué)輪廓儀從設(shè)備啟動到數(shù)據(jù)分析
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