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三維光學(xué)輪廓儀
布魯克
ContourX-500布魯克三維光學(xué)輪廓儀的測量應(yīng)用領(lǐng)域
布魯克三維光學(xué)輪廓儀的測量應(yīng)用領(lǐng)域布魯克ContourX-500三維光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用范圍覆蓋了眾多工業(yè)與科研領(lǐng)域,其非接觸和三維量化的特點(diǎn)為解決各種表面計(jì)量問題提供了方案。
布魯克三維光學(xué)輪廓儀的測量應(yīng)用領(lǐng)域
布魯克ContourX-500三維光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用范圍覆蓋了眾多工業(yè)與科研領(lǐng)域,其非接觸和三維量化的特點(diǎn)為解決各種表面計(jì)量問題提供了方案。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用途:
半導(dǎo)體與MEMS: 用于測量薄膜厚度、化學(xué)機(jī)械拋光后的表面平整度、微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁角度和深度。其非接觸性避免了對脆弱微結(jié)構(gòu)的損傷。
精密制造: 對機(jī)械加工部件、刀具、模具的表面粗糙度和磨損情況進(jìn)行檢測,評估加工工藝的穩(wěn)定性。
材料科學(xué): 研究涂層表面的形貌、分析材料磨損、腐蝕后的三維形貌變化,以及復(fù)合材料界面特性。
光學(xué)元件: 測量透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的面型誤差、表面粗糙度,有助于控制光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。
電子行業(yè): 測量印刷電路板的銅箔厚度、焊膏的印刷體積,以及封裝器件的共面性。
產(chǎn)品性能:
在這些應(yīng)用中,ContourX-500能夠提供二維輪廓曲線和三維形貌圖,使表面特征可視化。更重要的是,它能輸出符合ISO 25178等國際標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度參數(shù)(如Sa, Sq, Sz),以及自定義區(qū)域的臺階高度、體積等量化數(shù)據(jù),為工藝改進(jìn)和質(zhì)量判斷提供客觀依據(jù)。
使用說明:
針對不同的應(yīng)用,需要選擇合適的物鏡和測量模式。例如,測量大范圍平整度時,可選擇低倍物鏡;測量微小的劃痕或顆粒時,則需要切換至高倍物鏡。對于透明薄膜的測量,需要注意底層反射光的干擾,軟件中通常提供相應(yīng)的算法來修正此類誤差。
布魯克三維光學(xué)輪廓儀的測量應(yīng)用領(lǐng)域
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