ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)
正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。

產(chǎn)品型號(hào)：ZeGage Pro

更新時(shí)間：2025-10-13

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：42

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)

正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。

使用環(huán)境要求：儀器應(yīng)放置在清潔、干燥、無(wú)腐蝕性氣體的環(huán)境中。工作臺(tái)需要穩(wěn)固，以盡可能減少振動(dòng)。環(huán)境溫度應(yīng)保持穩(wěn)定，避免陽(yáng)光直射和空調(diào)出風(fēng)口的直接吹拂，劇烈的溫度波動(dòng)會(huì)影響測(cè)量的穩(wěn)定性。

開機(jī)與準(zhǔn)備：開機(jī)前，檢查電源線和網(wǎng)線連接是否牢固。開機(jī)后，系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行自檢，建議預(yù)熱一段時(shí)間（如30分鐘），讓光學(xué)系統(tǒng)和光源達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。每次測(cè)量前，檢查樣品臺(tái)是否清潔，樣品是否固定穩(wěn)妥。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點(diǎn)

測(cè)量流程簡(jiǎn)述：

放置樣品：輕拿輕放，避免碰撞物鏡和樣品臺(tái)。
軟件操作：打開MetroPro軟件，連接儀器。使用實(shí)時(shí)視頻找到待測(cè)區(qū)域。
選擇物鏡：根據(jù)所需視野和分辨率，通過(guò)軟件切換合適的物鏡。
調(diào)整光強(qiáng)：使用軟件的自動(dòng)或手動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能，確保干涉條紋清晰且信號(hào)強(qiáng)度適中。
設(shè)置參數(shù)：設(shè)置掃描長(zhǎng)度和采樣間隔。對(duì)于不熟悉的樣品，可先使用自動(dòng)掃描功能。
開始測(cè)量：點(diǎn)擊開始，儀器將自動(dòng)完成掃描。測(cè)量過(guò)程中應(yīng)避免觸碰工作臺(tái)。
數(shù)據(jù)分析：測(cè)量完成后，在軟件中使用相應(yīng)的工具進(jìn)行處理和分析，并保存數(shù)據(jù)和報(bào)告。

日常維護(hù)：

清潔：定期用軟毛刷或吹氣球清除樣品臺(tái)和儀器外部的灰塵。物鏡鏡片是精密光學(xué)部件，如有污染，需使用專用的鏡頭紙和清潔劑，按照規(guī)范輕輕擦拭。
校準(zhǔn)：為保證測(cè)量精度，建議按照廠家推薦的周期，使用標(biāo)準(zhǔn)參考件（如階梯高度標(biāo)準(zhǔn)板）對(duì)儀器進(jìn)行垂直標(biāo)定和橫向標(biāo)定。
存放：長(zhǎng)期不使用時(shí)，應(yīng)蓋上防塵罩，并將儀器存放在符合環(huán)境要求的地方。

遵循這些操作和維護(hù)指南，可以有效延長(zhǎng)ZeGage Pro的使用壽命，并確保其始終處于合適的工作狀態(tài)