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DSX1000奧林巴斯超景深顯微鏡應(yīng)用案例與常見問題
奧林巴斯超景深顯微鏡應(yīng)用案例與常見問題通過實際案例與問題解答,可幫助用戶更快速地應(yīng)對使用中的各類場景,充分發(fā)揮 DSX1000 的性能優(yōu)勢,同時減少故障排查時間,保障設(shè)備穩(wěn)定運行。
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奧林巴斯超景深顯微鏡應(yīng)用案例與常見問題
樣品固定:將 PCB 板放在自動樣品臺,通過真空吸附固定(避免移位);
參數(shù)設(shè)置:選擇 50X 物鏡、DIC 觀察方式,軟件預(yù)設(shè) 3 個檢測區(qū)域(板角、中心、邊緣);
自動檢測:開啟 “自動檢測" 功能,設(shè)備依次移動至各區(qū)域,采集圖像并對比標(biāo)準(zhǔn)模板,自動標(biāo)記缺陷(如線路間距<0.1mm 判定為短路);
報告生成:檢測完成后自動生成 PDF 報告,包含缺陷位置、尺寸及不合格率統(tǒng)計。
樣品預(yù)處理:薄膜樣品經(jīng)噴金處理(增強導(dǎo)電性);
成像設(shè)置:200X 物鏡、暗場觀察,光源亮度調(diào)至 80%,采集 15 層焦平面圖像;
數(shù)據(jù)分析:通過高級分析模塊的 3D 重建功能生成薄膜立體模型,測量表面粗糙度 Ra=0.05μm;切換至 DIC 模式,觀察到層間無明顯空隙,結(jié)合狀態(tài)良好;
數(shù)據(jù)導(dǎo)出:將粗糙度數(shù)據(jù)、3D 模型導(dǎo)出至 Origin,用于論文圖表繪制。
問:高倍物鏡(200X)成像模糊,如何處理?
問:觀察透明樣品時,細(xì)節(jié)對比度低怎么辦?
問:自動樣品臺移動卡頓,如何排查?
問:真空樣品臺吸附力不足,無法固定輕薄樣品?
問:軟件無法導(dǎo)出 Excel 格式的測量數(shù)據(jù),怎么辦?
問:自動檢測時頻繁誤判缺陷,如何調(diào)整?
樣品安全:觀察易燃樣品(如塑料薄膜)時,避免 LED 光源長時間直射(單次觀察不超過 15 分鐘),防止樣品過熱變形;
設(shè)備運輸:移動設(shè)備時需拆除物鏡與附件,用專用泡沫固定機身,避免振動導(dǎo)致光學(xué)部件偏移;
售后支持:若出現(xiàn)主板故障、物鏡鍍膜損壞等復(fù)雜問題,不可自行拆解,需聯(lián)系奧林巴斯售后(提供設(shè)備序列號可快速匹配維修方案)。
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