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ZYGO 3D光學輪廓儀光學元件檢測應用光學透鏡（如相機鏡頭、顯微鏡物鏡）的表面粗糙度、曲率半徑直接影響成像質量，需測量表面 Ra 值（≤0.01μm）、曲率半徑（差≤0.1%），確保無劃痕、凹陷等缺陷
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ZYGO 3D光學輪廓儀光學元件檢測應用
硬件選擇：根據透鏡尺寸選物鏡，小口徑透鏡（直徑≤5mm）用 20X 物鏡（水平分辨率 0.8μm），大口徑透鏡（直徑＞5mm）用 10X 物鏡（覆蓋更大范圍）；
參數設置：掃描范圍 1-5mm×1-5mm（匹配透鏡測量區(qū)域），數據點密度 1000 點 /mm2（捕捉微觀粗糙度），開啟 “偏振光" 功能（減少透明透鏡反光干擾）；
測量流程：用專用夾具固定透鏡（避免按壓變形），自動對焦后掃描（約 25 秒 / 次），軟件生成 3D 表面形貌圖。
軟件計算 Ra 值，若超 0.01μm，反饋至透鏡拋光工藝（調整拋光輪轉速、磨料粒度）；
選擇 “曲率分析" 模塊，自動擬合透鏡曲面，輸出曲率半徑數據（如 R=20.05mm），與設計值（20mm）對比，偏差超 0.1% 需重新加工。
硬件選擇：選用 50X 物鏡（垂直分辨率 0.05nm，精準捕捉薄膜層間信號），搭配白光干涉模塊；
參數設置：掃描范圍 0.2mm×0.2mm（薄膜局部區(qū)域），數據點密度 1200 點 /mm2，開啟 “薄膜分析" 專用算法；
測量流程：將薄膜樣品（如玻璃基底鍍膜）放在樣品臺，掃描后軟件自動識別薄膜上下表面（基于折射率差異），計算厚度值。
軟件生成厚度分布熱力圖，標注厚度偏差超 5nm 的區(qū)域（如邊緣區(qū)域厚度 480nm，中心 495nm），指導鍍膜工藝調整（如優(yōu)化鍍膜機靶材位置）；
統計整片薄膜的厚度均勻性（如平均厚度 490nm，偏差 ±3nm），作為薄膜合格判定依據。
硬件選擇：選用 10X 物鏡（覆蓋棱鏡表面與棱角區(qū)域），搭配自動樣品臺（便于多角度測量）；
參數設置：掃描范圍 3mm×3mm（含棱鏡棱角與表面），數據點密度 800 點 /mm2，開啟 “缺陷識別" 功能（閾值設為劃痕寬度≥1μm）；
測量流程：自動樣品臺移動至棱鏡不同區(qū)域（表面、棱角），分次掃描（約 30 秒 / 區(qū)域），軟件整合多區(qū)域數據。
軟件測量棱鏡棱角角度（如直角棱鏡 90.05°），偏差超 0.1° 需重新研磨棱角；
自動標紅劃痕缺陷（如寬度 1.2μm 的劃痕），統計缺陷數量，超 3 處 / 片需返修。
光學元件表面禁觸碰，需戴無塵手套操作，避免指紋、灰塵污染測量區(qū)域；
測量透明元件時，確保樣品臺水平（用水平儀校準），防止樣品傾斜導致測量偏差；
不同材質元件（如玻璃、塑料基底）需調整 “折射率參數"（軟件內置常見材質折射率數據庫），確保厚度、曲率計算準確。
ZYGO 3D光學輪廓儀光學元件檢測應用