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產品簡介
ZYGO 3D光學輪廓儀維護與故障排除通過定期維護與快速故障排查，可延長 ZeGage Pro 使用壽命），保障 3D 形貌測量的精度與穩(wěn)定性，減少設備停機時間。
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ZYGO 3D光學輪廓儀維護與故障排除
物鏡組：每次使用后，用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑（型號 ZGP-CL01）輕輕擦拭鏡片表面，去除指紋與灰塵；每使用 30 次，用壓縮氣吹（壓力≤0.3MPa）清潔物鏡接口縫隙，避免灰塵堆積影響光路。若物鏡出現劃痕或鍍膜脫落，需更換對應倍率物鏡（如 50X 物鏡型號 ZGP-OBJ50），不可繼續(xù)使用以防測量偏差。
光源組件：每季度檢查 LED 光源亮度（軟件 “光源檢測" 功能），若亮度衰減超 20%，需更換光源模塊（型號 ZGP-LS01）；光源散熱鰭片每 2 個月用無塵布清潔，避免灰塵堵塞影響散熱，導致光源壽命縮短。
干涉儀模塊：每半年由專業(yè)人員拆解檢查棱鏡與分光膜，若發(fā)現棱鏡表面污漬，用無水乙醇蘸取鏡頭紙輕輕擦拭；分光膜若出現破損，需返廠維修，不可自行拆解以免損壞精密部件。
手動樣品臺：導軌每 1 個月涂專用潤滑脂（型號 ZGP-GR01），涂抹量以覆蓋導軌表面薄薄一層為宜，避免過多導致灰塵吸附；移動旋鈕若出現卡頓，檢查導軌是否有雜質，清潔后仍卡頓需調整旋鈕松緊螺絲（順時針調緊，逆時針調松）。
自動樣品臺（選配）：每月檢查電機連接線是否松動，若出現定位偏差（如預設坐標與實際位置偏差超 0.001mm），需在軟件 “樣品臺校準" 中用標準樣板重新校準；電機每使用 6 個月，由專業(yè)人員檢查內部齒輪磨損情況，磨損嚴重需更換電機組件（型號 ZGP-MT01）。
軟件系統(tǒng)：每 3 個月從 ZYGO 下載最新版 MetroPro 軟件，更新前備份測量數據與自定義模板，避免數據丟失；若軟件頻繁閃退，檢查電腦系統(tǒng)是否兼容（需 Windows 10 及以上），或重裝軟件修復故障。
電路模塊：每年檢查設備電源線、數據線接口是否有氧化、破損，若有需更換對應線纜（電源線型號 ZGP-PW01，USB 數據線型號 ZGP-USB01）；設備內部電路板每半年由專業(yè)人員用壓縮氣吹清灰，避免灰塵導致短路。
現象：測量標準樣板（如已知 Ra=0.02μm）時，實測值偏差超 0.005μm；
排查與解決：
檢查物鏡是否清潔，若有污漬按維護流程清潔；
確認樣品臺是否水平，用水平儀校準（氣泡需居中），若不水平調整底部腳墊高度；
軟件中重新執(zhí)行 “系統(tǒng)校準"（用原廠標準樣板），校準后重新測量，偏差通常可恢復至允許范圍。
現象：掃描時實時成像模糊，無法清晰捕捉樣品細節(jié)；
排查與解決：
檢查光源亮度，若亮度不足更換光源模塊；
透明樣品需開啟 “偏振光 + 增強對比度" 功能，調整光源角度（軟件 “光源角度" 設置，0°-90° 可調）；
物鏡未安裝到位，順時針輕擰物鏡至貼合接口，確保光路同軸。
現象：軟件無法識別設備，顯示 “連接失敗"；
排查與解決：
檢查 USB 數據線是否插緊，更換原廠數據線重試；
設備電源未開啟或供電異常，確認電源指示燈亮（綠色），若不亮檢查電源線與插座；
電腦設備管理器中查看 “ZeGage Pro" 驅動是否正常，若顯示黃色感嘆號，卸載后重裝最新驅動。
維護周期表：
日常：實驗后清潔物鏡、樣品臺；
每月：樣品臺導軌潤滑、光源亮度檢查；
每季度：干涉儀外部清潔、軟件更新；
每半年：電路模塊清灰、自動樣品臺校準；
每年：全面系統(tǒng)校準、線纜接口檢查。
安全規(guī)范：
維護前需關閉設備電源，拔下電源線，避免觸電；
清潔光學部件時禁止用普通紙巾、棉簽，防止劃傷鏡片；
更換光源、電機等部件時，需佩戴防靜電手環(huán)，避免靜電損壞電子元件。
ZYGO 3D光學輪廓儀維護與故障排除
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