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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
S?neoxSensofar輪廓儀從定位到批量檢測(cè)的完整流程
Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測(cè)的完整流程作S neox需遵循標(biāo)準(zhǔn)化流程以確保檢測(cè)精度。首先清潔樣品臺(tái)并固定樣品,通過觸控屏啟動(dòng)預(yù)覽功能框選檢測(cè)區(qū)域。
Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測(cè)的完整流程
操作S neox需遵循標(biāo)準(zhǔn)化流程以確保檢測(cè)精度。首先清潔樣品臺(tái)并固定樣品,通過觸控屏啟動(dòng)預(yù)覽功能框選檢測(cè)區(qū)域。軟件自動(dòng)匹配物鏡倍率并調(diào)整鏡頭位置,用戶可選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式。掃描參數(shù)如分辨率、速度等可手動(dòng)調(diào)整或調(diào)用預(yù)設(shè)模板,支持自定義掃描路徑與區(qū)域分割。檢測(cè)完成后,軟件生成3D輪廓圖像并計(jì)算表面參數(shù),如PV、Rq、Sa等,支持PDF、Excel、STL等格式導(dǎo)出。批量檢測(cè)可聯(lián)動(dòng)自動(dòng)化上下料模塊,每小時(shí)處理80-120個(gè)樣品,提升檢測(cè)效率。軟件還提供數(shù)據(jù)追溯與生產(chǎn)批次關(guān)聯(lián)存儲(chǔ)功能,支持ISO標(biāo)準(zhǔn)分析模塊,自動(dòng)計(jì)算參數(shù)并生成檢測(cè)報(bào)告。在半導(dǎo)體金線高度檢測(cè)中,設(shè)備可同步獲取高度、直徑與傾斜角,重復(fù)性誤≤0.3%;在光學(xué)鏡片面型誤差分析中,白光干涉模式可精準(zhǔn)測(cè)量曲率半徑與PV值,偏差區(qū)域自動(dòng)標(biāo)記并生成分析報(bào)告。
軟件自動(dòng)匹配物鏡倍率并調(diào)整鏡頭位置,用戶可選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式。掃描參數(shù)如分辨率、速度等可手動(dòng)調(diào)整或調(diào)用預(yù)設(shè)模板。檢測(cè)完成后,軟件生成3D輪廓圖像并計(jì)算表面參數(shù),支持PDF、Excel、STL等格式導(dǎo)出。批量檢測(cè)可聯(lián)動(dòng)自動(dòng)化上下料模塊,每小時(shí)處理80-120個(gè)樣品,提升檢測(cè)效率。Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測(cè)的完整流程
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