Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析

產(chǎn)品簡介

Sensofar光學(xué)輪廓儀非接觸式微觀觀測新工具 Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析
Sensofar?S?neox 將共聚焦顯微、白光干涉和多焦面疊加三大技術(shù)融合在同一平臺，實現(xiàn)從超光滑到粗糙表面的全場景測量。

產(chǎn)品型號：S?neox

更新時間：2025-10-15

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：14

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析

型號對比顯示，基礎(chǔ)版縱向分辨率0.1nm，橫向分辨率0.1μm，最大Z掃描范圍10mm；進(jìn)階版支持五軸旋轉(zhuǎn)臺與AI路徑規(guī)劃，適用于光學(xué)鏡片面型誤差分析；定制版可拓展至15kg承載重量與特殊環(huán)境控制。各型號均支持環(huán)境溫度18-28℃、濕度30-65%工作，無需恒溫恒濕設(shè)備。平移臺移動精度0.1μm，閉環(huán)控制系統(tǒng)確保長時間連續(xù)工作下垂直精度變化≤0.3nm。

儀器機身采用航空級鋁合金框架，內(nèi)部光路使用低膨脹玻璃陶瓷基座，保證溫度波動 <?0.1?°C 時測量誤差不變。光源為寬譜白光 LED + 可選綠光 LED，配合偏振分離模塊實現(xiàn)透明薄膜雙面測量。FLCOS 微顯示陣列采用鐵電液晶技術(shù)，壽命 >?20?000?h，功耗低于 30?W。

Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析

關(guān)鍵技術(shù)與性能指標(biāo)

項目	參數(shù)	說明
橫向分辨率	0.10?µm（共聚焦）	采用 150×、NA?0.95 物鏡
縱向分辨率	0.1?nm（白光干涉）	多步相位移算法
最大測量斜率	86°	多焦面疊加技術(shù)
Z 軸行程	≥10?mm（閉環(huán)）	全量程無縫拼接
掃描速度	≤3?mm?/?s	高速數(shù)據(jù)采集
重復(fù)性	≤0.01?nm（RMS）	通過內(nèi)部校準(zhǔn)實現(xiàn)