ZYGO激光光學(xué)輪廓儀玻璃表面輪廓檢測技術(shù)

產(chǎn)品簡介

ZYGO激光光學(xué)輪廓儀玻璃表面輪廓檢測技術(shù)手機蓋板玻璃、光學(xué)透鏡等玻璃制品的表面質(zhì)量直接影響產(chǎn)品外觀與功能可靠性。ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀通過高精度非接觸測量，實現(xiàn)對玻璃表面微劃痕、凹坑及輪廓度的定量檢測，解決人工目檢效率低、漏檢率高的問題。

產(chǎn)品型號：ZYGO Nexview NX2

更新時間：2025-10-31

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激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO激光光學(xué)輪廓儀玻璃表面輪廓檢測技術(shù)手機蓋板玻璃、光學(xué)透鏡等玻璃制品的表面質(zhì)量直接影響產(chǎn)品外觀與功能可靠性。ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀通過高精度非接觸測量，實現(xiàn)對玻璃表面微劃痕、凹坑及輪廓度的定量檢測，解決人工目檢效率低、漏檢率高的問題。

玻璃材料具有高透光率與低反射率特性，對光學(xué)檢測系統(tǒng)的靈敏度提出較高要求。NX2采用短波長藍(lán)光干涉光源與高數(shù)值孔徑物鏡，增強表面微小起伏的信號對比度，可檢測出寬度≥0.5μm、深度≥0.2μm的玻璃表面缺陷。設(shè)備支持偏振光模式切換，有效抑制玻璃基底的反射干擾，確保透明材料表面輪廓的準(zhǔn)確重建。

在應(yīng)用中，NX2可對玻璃表面進行三維形貌重構(gòu)，通過色階映射直觀顯示表面起伏。軟件內(nèi)置的缺陷識別算法可自動標(biāo)記超差區(qū)域（如劃痕長度＞50μm、深度＞1μm），并統(tǒng)計缺陷密度與分布特征。針對曲面玻璃，設(shè)備通過自適應(yīng)掃描路徑規(guī)劃，實現(xiàn)對非平面表面的全場測量，評估其輪廓度是否符合設(shè)計公差。

相較于暗場顯微鏡的人工目檢，NX2實現(xiàn)了玻璃表面缺陷的量化分析與自動化判讀，檢測速度提升10倍以上，漏檢率降低至0.1%以下。對于玻璃深加工行業(yè)，NX2提供了從表面缺陷檢測到輪廓尺寸驗證的一體化解決方案，保障產(chǎn)品良率與一致性。ZYGO激光光學(xué)輪廓儀玻璃表面輪廓檢測技術(shù)

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