Sensofar S neox通過(guò)將共聚焦、白光干涉與多焦面疊加技術(shù)深度融合，構(gòu)建了多模式測(cè)量平臺(tái)。該設(shè)備無(wú)需硬件切換即可自動(dòng)匹配共聚焦、白光干涉及相位差干涉模式，適應(yīng)從超光滑到粗糙表面的全場(chǎng)景測(cè)量需求。其FLCOS微顯示掃描引擎配合高數(shù)值孔徑（NA 0.95）物鏡，實(shí)現(xiàn)0.10μm橫向分辨率與0.1nm縱向分辨率，單次掃描時(shí)間可低至3秒，數(shù)據(jù)采集速率達(dá)180fps，較傳統(tǒng)設(shè)備效率提升5倍。
在半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)中，白光干涉模式可精準(zhǔn)測(cè)量納米級(jí)薄膜厚度，共聚焦模式則能捕捉微米級(jí)凸點(diǎn)高度。例如，在50nm-5mm厚度范圍內(nèi)，光譜擬合技術(shù)結(jié)合多層膜模型，可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)厚度測(cè)量，適配高折射率材料。多焦面疊加技術(shù)則有效解決斜率超70°的鍵合界面測(cè)量盲區(qū)問(wèn)題，確保全片厚度均勻性分析。
設(shè)備采用模塊化航空級(jí)鋁合金機(jī)身，搭配IP54防護(hù)等級(jí)光學(xué)系統(tǒng)，可抵御粉塵與濺水。15英寸高清觸控屏與SensoSCAN軟件界面支持2D/3D視圖切換、ISO標(biāo)準(zhǔn)粗糙度計(jì)算及批量報(bào)告導(dǎo)出。五軸全功能型號(hào)配備±180°旋轉(zhuǎn)臺(tái)，兼容大型曲面測(cè)量，并通過(guò)SECS/GEM協(xié)議對(duì)接半導(dǎo)體產(chǎn)線自動(dòng)化系統(tǒng)。
環(huán)境適應(yīng)性方面，設(shè)備采用低膨脹玻璃陶瓷基座與鐵電液晶引擎，確保溫度波動(dòng)＜0.1°C時(shí)的測(cè)量穩(wěn)定性。每200小時(shí)校準(zhǔn)周期使用標(biāo)準(zhǔn)厚度片驗(yàn)證，光源壽命達(dá)50000小時(shí)，避免激光散斑干擾高反射樣品。其振動(dòng)補(bǔ)償算法可在超100nm環(huán)境振動(dòng)中穩(wěn)定工作，并推出ISO 1級(jí)無(wú)塵室兼容型號(hào)。
通過(guò)技術(shù)融合與模塊化設(shè)計(jì)，S neox在半導(dǎo)體、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)應(yīng)用價(jià)值，成為高精度表面形貌檢測(cè)的可靠選擇，有效支持從納米級(jí)縱向分辨率到宏觀視場(chǎng)的完整解決方案需求。

sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀技術(shù)融合實(shí)踐