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ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產(chǎn)品是基于光學干涉原理的高精度表面測量儀器，適用于光學元件、半導體器件、精密機械零件等表面的納米級形貌測量需求。該系列產(chǎn)品采用非接觸式測量方式，可為用戶提供三維表面形貌數(shù)據(jù)。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案

美國ZYGOQualifire干涉儀ZYGO Qualifire系列是美國ZYGO公司推出的高性能激光干涉儀產(chǎn)品，專為光學元件和光學系統(tǒng)的快速、精確測量而設(shè)計。作為全球光學計量領(lǐng)域的，ZYGO的Qualifire系列結(jié)合了優(yōu)良的激光干涉技術(shù)和用戶友好的操作界面，為光學制造、科研和質(zhì)量控制提供了可靠的測量解決方案。

隨著半導體、光刻、星載成像系統(tǒng)、消費電子、國防等行業(yè)的飛速發(fā)展，對計量應(yīng)用的精度、穩(wěn)定性和效率提出了的嚴苛要求。傳統(tǒng)干涉儀在面對這些高難度場景時，往往在噪聲控制、對焦精度、變焦穩(wěn)定性等方面美國ZYGO共聚焦激光干涉儀存在不足。為了滿足行業(yè)需求，美國 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉儀，旨在為挑戰(zhàn)性的計量任務(wù)提供的解決方案。

美國ZYGO激光干涉儀ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點，融合了機械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等。 Zygo最新推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。

美國ZYGO 激光干涉儀ZYGO新型Verifire HDX激光干涉儀是為超高精度的光學元件和系統(tǒng)設(shè)計和制造的，可以獲得元件表面的中頻特征信息。

美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz 激光干涉儀:在空氣湍流和極*振動的環(huán)境下進行動態(tài)測量 ;DynaFiz 激光干涉儀優(yōu)化的光學系統(tǒng)提供了清晰可見的中間空間頻率特征 ;LivePhase™ 軟件可以進行實時Zernike分析 ;Movie模式獲取隨時間變化的波前 ;DynaFiz 激光干涉儀 高功率，長壽命穩(wěn)頻氦氖激光器。