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ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)技術解析ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)是基于光學干涉原理的精密測量設備，適用于光學元件、半導體器件等產品的表面形貌檢測需求。該系統(tǒng)采用非接觸式測量方式，可提供納米級精度的表面特征數據。

在精密光學、半導體和制造領域，表面形貌測量對產品質量控制至關重要。ZYGO共聚焦激光干涉儀結合共聚焦顯微技術與激光干涉測量原理，為納米級表面檢測提供了有效的解決方案。ZYGO共聚焦激光干涉儀高精度表面測量選擇

ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產品是基于光學干涉原理的高精度表面測量儀器，適用于光學元件、半導體器件、精密機械零件等表面的納米級形貌測量需求。該系列產品采用非接觸式測量方式，可為用戶提供三維表面形貌數據。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案

美國ZYGOQualifire干涉儀ZYGO Qualifire系列是美國ZYGO公司推出的高性能激光干涉儀產品，專為光學元件和光學系統(tǒng)的快速、精確測量而設計。作為全球光學計量領域的，ZYGO的Qualifire系列結合了優(yōu)良的激光干涉技術和用戶友好的操作界面，為光學制造、科研和質量控制提供了可靠的測量解決方案。

隨著半導體、光刻、星載成像系統(tǒng)、消費電子、國防等行業(yè)的飛速發(fā)展，對計量應用的精度、穩(wěn)定性和效率提出了的嚴苛要求。傳統(tǒng)干涉儀在面對這些高難度場景時，往往在噪聲控制、對焦精度、變焦穩(wěn)定性等方面美國ZYGO共聚焦激光干涉儀存在不足。為了滿足行業(yè)需求，美國 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉儀，旨在為挑戰(zhàn)性的計量任務提供的解決方案。

美國ZYGO激光干涉儀ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點，融合了機械相移技術、革命性的數據采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等。 Zygo最新推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。