Sensofar三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀采用多模式測(cè)量技術(shù)，結(jié)合共聚焦顯微鏡和白光干涉功能，適用于微納米級(jí)表面形貌分析，滿足科研與工業(yè)檢測(cè)需求。Sensofar三維輪廓儀：共聚焦與干涉測(cè)量結(jié)合

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能

• 多模式測(cè)量：支持共聚焦顯微鏡（高分辨率）、白光干涉（大范圍）、自動(dòng)切換模式，適應(yīng)不同樣品特性。

• 光學(xué)系統(tǒng)：高數(shù)值孔徑（NA）物鏡，搭配低噪聲CMOS傳感器，提高成像清晰度。

• 掃描速度：高速掃描模式可縮短檢測(cè)時(shí)間，適合批量樣品測(cè)量。

用材與結(jié)構(gòu)

• 機(jī)身采用穩(wěn)定合金框架，減少環(huán)境振動(dòng)干擾。

• 光學(xué)模塊防塵防霉處理，適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)環(huán)境。

主要參數(shù)

推薦型號(hào)

• S neox 5：多功能型，支持共聚焦、干涉、焦點(diǎn)變化三種模式。

• S neox 3：經(jīng)濟(jì)實(shí)用型，適用于常規(guī)表面檢測(cè)。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體晶圓、MEMS器件3D形貌分析

• 光學(xué)鏡片、涂層表面粗糙度檢測(cè)

• 精密加工件、生物材料微觀結(jié)構(gòu)測(cè)量

使用說明

1. 開機(jī)預(yù)熱10分鐘，確保系統(tǒng)穩(wěn)定。

2. 根據(jù)樣品反射率選擇共聚焦或干涉模式。

3. 使用校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片定期校驗(yàn)儀器精度。Sensofar三維輪廓儀：共聚焦與干涉測(cè)量結(jié)合