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Sensofar三維共聚焦輪廓儀多功能表面分析

產(chǎn)品簡介

Sensofar三維共聚焦輪廓儀多功能表面分析
Sensofar白光干涉儀采用非接觸式光學(xué)測量技術(shù),適用于微納米級表面形貌分析,可滿足半導(dǎo)體、精密制造、材料科學(xué)等領(lǐng)域的高精度檢測需求。

產(chǎn)品型號:S neox
更新時間:2025-08-19
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:63
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Sensofar三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀結(jié)合共聚焦顯微技術(shù)和白光干涉技術(shù),為微納米級表面測量提供多模式解決方案。該系統(tǒng)適用于科研與工業(yè)領(lǐng)域,可滿足不同材料的表面形貌分析需求。Sensofar三維共聚焦輪廓儀多功能表面分析

產(chǎn)品性能

  • 測量模式:共聚焦、白光干涉、相移干涉

  • 垂直分辨率:0.1nm(干涉模式)

  • 橫向分辨率:0.5μm(共聚焦模式)

  • 最大測量高度:10mm

  • 重復(fù)性:<0.5%

用材與結(jié)構(gòu)

儀器采用模塊化設(shè)計,主體為高剛性鋁合金框架。光學(xué)系統(tǒng)配備多層鍍膜物鏡,有效減少像差。電動載物臺采用精密導(dǎo)軌,確保定位準確性。

參數(shù)表

型號

測量技術(shù)

適用樣品

最大視場

S neox

共聚焦+干涉

光滑/粗糙表面

5×5mm

S mart

共聚焦+干涉

透明/反射材料

3×3mm

用途

  • 半導(dǎo)體器件三維形貌測量

    MEMS器件表面特征分析

    光學(xué)元件面形檢測

  • 生物材料微觀結(jié)構(gòu)觀察

使用說明

1.根據(jù)樣品特性選擇測量模式

2.使用自動對焦功能確定優(yōu)良測量位置

3.置掃描參數(shù)并開始測量

4.通過專用軟件進行三維重構(gòu)和數(shù)據(jù)分析

5.導(dǎo)出測量報告(支持多種格式)Sensofar三維共聚焦輪廓儀多功能表面分析

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