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三維光學輪廓儀
BEUKER白光干涉光學輪廓儀
布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化軟件分析
布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化軟件分析在工業(yè)生產與科學研究中,待測樣品表面往往具有復雜的特性,如高陡坡、透明薄膜或顯著的反光差異,這對測量設備提出了要求。布魯克白光干涉儀通過一系列技術設計,來應對這些挑戰(zhàn)。
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在工業(yè)生產與科學研究中,待測樣品表面往往具有復雜的特性,如高陡坡、透明薄膜或顯著的反光差異,這對測量設備提出了要求。布魯克白光干涉儀通過一系列技術設計,來應對這些挑戰(zhàn)。布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化軟件分析
對于具有高深寬比或陡峭側壁的結構,儀器的長工作距離物鏡和特殊的抗散斑技術,能有效改善光斑質量,確保光線能進入結構底部并返回探測器,從而減少測量盲區(qū)。其先進的相位掃描分析算法,增強了在斜率變化較大區(qū)域的形貌還原能力。
在測量透明薄膜或多層結構時,可能會產生多重干涉信號,造成測量干擾。該設備的軟件通常配備了專門的薄膜分析模塊,能夠識別并處理來自薄膜上下表面的信號,從而準確解析出薄膜的真實厚度或下層的形貌。
此外,面對高反光或低反光樣品,儀器提供光強調節(jié)功能,并可選配偏振組件,以優(yōu)化干涉信號,避免探測器飽和或信號過弱的情況,確保在不同材質樣品上都能獲得可用的測量數據。這種適應性使其在從金屬、陶瓷到聚合物、生物樣品等多種材料上都有應用空間。
現代檢測對效率和一致性有要求。布魯克白光干涉儀集成了自動化硬件與功能豐富的分析軟件,旨在提升測量流程的自動化水平和數據分析的深度。
硬件上,儀器可配備電動樣品臺、自動物鏡轉盤和自動焦距調節(jié)系統(tǒng)。用戶可在軟件中預先設置多個測量點位,系統(tǒng)即可按順序自動完成所有點的測量,無需人工干預,特別適用于批量樣品的檢測或大型樣品上多區(qū)域的統(tǒng)計分析。
軟件是其價值的核心體現。測量完成后,軟件提供豐富的分析工具:
三維形貌視圖: 以直觀的三維圖像展示表面起伏。
二維輪廓提取: 可在任意位置截取截面線,進行臺階高度、角度等尺寸量測。
粗糙度分析: 依據國際標準(如ISO 25178),計算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度參數。
體積分析: 用于分析磨損、腐蝕或材料的體積損失。
統(tǒng)計與報表生成: 可對多次測量結果進行統(tǒng)計分析,并一鍵生成定制化的檢測報告。
這些功能將原始的干涉數據轉化為有價值的量化信息,為工藝改進和質量控制提供直接依據。布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化軟件分析
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