Sensofar 的三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀,以其設(shè)計理念與技術(shù)整合能力,為科研實驗室和工業(yè)生產(chǎn)線提供了穩(wěn)定的微觀測量支持,XPLore 型號便是其中的典型代表。Sensofar輪廓儀開啟微觀測量新旅程
該型號的樣品臺配備高精度微調(diào)裝置,微調(diào)精度可達微米級,操作人員可通過旋鈕輕松調(diào)整樣品的 X、Y 軸位置與傾斜角度,滿足不同樣品的定位需求。對于需要多區(qū)域測量的樣品,無需頻繁拆裝,僅通過樣品臺調(diào)節(jié)即可完成多個測量點的切換,大幅減少了操作時間。在技術(shù)原理上,共聚焦技術(shù)通過針孔濾波消除虛焦光線,使焦平面上的圖像對比度顯著提升,再結(jié)合垂直掃描機制,逐點找出每個像素對應(yīng)的高度信息,最終構(gòu)建出三維形貌。干涉技術(shù)則利用光束分光后分別照射樣品和參考鏡片,反射光束形成的干涉條紋蘊含著表面高度信息,通過對條紋的分析與解碼,可轉(zhuǎn)化為精確的高度數(shù)據(jù)。
內(nèi)部電子元件選用低噪聲型號,從數(shù)據(jù)采集的傳感器到信號處理的電路模塊,都經(jīng)過嚴格篩選與調(diào)試,確保在長時間測量過程中數(shù)據(jù)輸出的穩(wěn)定性,減少因電子噪聲導(dǎo)致的測量波動。這一特性讓設(shè)備在連續(xù)監(jiān)測同一區(qū)域的動態(tài)變化時,能提供更可靠的對比數(shù)據(jù)。
該輪廓儀的適用范圍廣泛:在半導(dǎo)體領(lǐng)域,可用于芯片表面的缺陷檢測與線寬測量;生物醫(yī)藥領(lǐng)域,能觀察細胞與生物材料的界面形貌;材料測試中,可分析涂層的厚度均勻性與結(jié)合狀態(tài)。其對弱反光表面(如陶瓷燒結(jié)體)、多層結(jié)構(gòu)(如電路板的鍍層與基底)或多種材質(zhì)復(fù)合表面(如塑料與金屬的連接部)的測量能力,讓真實的三維形貌得以完整還原,為研發(fā)改進與質(zhì)量控制提供扎實數(shù)據(jù)。Sensofar輪廓儀開啟微觀測量新旅程