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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
探索Sensofar光學(xué)輪廓技術(shù)
探索Sensofar光學(xué)輪廓技術(shù)Sensofar Metrology作為光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域的參與者,其S neox和LIN系列三維光學(xué)輪廓儀集成了多種光學(xué)測(cè)量技術(shù),包括共聚焦、白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI),為微觀表面的三維形貌測(cè)量提供了多樣的解決方案。
Sensofar Metrology作為光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域的參與者,其S neox和LIN系列三維光學(xué)輪廓儀集成了多種光學(xué)測(cè)量技術(shù),包括共聚焦、白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI),為微觀表面的三維形貌測(cè)量提供了多樣的解決方案。
S neox系列是平臺(tái)型產(chǎn)品,其核心特點(diǎn)在于一臺(tái)儀器上融合了多種測(cè)量模式。用戶可以根據(jù)樣品的表面特性(如粗糙度、斜率、反射率)自由選擇最合適的測(cè)量技術(shù)。對(duì)于陡峭邊緣和粗糙表面,共聚焦模式表現(xiàn)出色;而對(duì)于光滑表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量時(shí),白光干涉模式則能提供所需的數(shù)據(jù)。這種靈活性使S neox能夠應(yīng)對(duì)復(fù)雜的測(cè)量挑戰(zhàn)。
LIN系列則更側(cè)重于經(jīng)濟(jì)性與實(shí)用性,主要提供共聚焦和白光干涉兩種基本模式,在保證核心測(cè)量性能的同時(shí),簡(jiǎn)化了系統(tǒng)配置,降低了用戶的使用門檻。
在制造用材上,Sensofar儀器通常采用穩(wěn)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)和熱穩(wěn)定性好的材料,以抑制外界振動(dòng)和溫度漂移對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。其核心光學(xué)部件,如物鏡和光源,均經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì),以確保成像質(zhì)量和測(cè)量信號(hào)的穩(wěn)定性。
簡(jiǎn)要技術(shù)參數(shù)對(duì)比(示例):
型號(hào)系列 | 主要技術(shù) | 定位特點(diǎn) | 物鏡支持 |
---|---|---|---|
S neox | 共聚焦、白光干涉(VSI)、相移干涉(PSI) | 多技術(shù)融合平臺(tái) | 廣泛,支持自動(dòng)切換 |
LIN | 共聚焦、白光干涉(VSI) | 經(jīng)濟(jì)實(shí)用型 | 標(biāo)準(zhǔn)配置 |
這些儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)、精密制造等行業(yè),用于測(cè)量表面粗糙度、臺(tái)階高度、體積、磨損等關(guān)鍵參數(shù)。操作上,它們通常配備直觀的軟件界面,引導(dǎo)用戶完成從圖像采集、數(shù)據(jù)處理到生成分析報(bào)告的全過(guò)程。
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