要深入了解Sensofar S neox的特點(diǎn)，需要關(guān)注其實(shí)現(xiàn)多模式測(cè)量的技術(shù)細(xì)節(jié)和由此帶來的性能表現(xiàn)。

其核心技術(shù)之一是“光路共享"設(shè)計(jì)。三種測(cè)量模式（共聚焦、VSI、PSI）通過同一物鏡和光路進(jìn)行測(cè)量，這不僅簡(jiǎn)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)，更重要的是保證了不同模式測(cè)量數(shù)據(jù)的位置關(guān)聯(lián)性，使得從一種模式切換到另一種模式時(shí)，無需重新定位，數(shù)據(jù)具有可比性。

在共聚焦模式下，儀器通過激光或LED光源，利用共聚焦針孔排除焦平面以外的散射光，逐層掃描樣品表面，最終重建出高清晰度的三維圖像。此模式對(duì)高角度斜面（可達(dá)87°）的測(cè)量有良好表現(xiàn)。

在白光干涉模式下，寬帶光源發(fā)出的光被分光鏡分成兩束，分別投射到參考鏡和樣品表面。反射光發(fā)生干涉，通過分析干涉條紋的對(duì)比度變化來精確計(jì)算高度信息。此模式垂直分辨率高，適用于光滑表面的精細(xì)測(cè)量。

相移干涉模式使用單色光，通過精密移動(dòng)壓電陶瓷（PZT）來改變參考光路的光程，采集多幅干涉圖進(jìn)行運(yùn)算，其垂直分辨率可達(dá)亞納米級(jí)，但測(cè)量范圍較小，專用于超光滑表面的測(cè)量。

性能參數(shù)示例（因配置而異）：

• 橫向分辨率： 可達(dá)0.3 μm（取決于物鏡）

• 垂直分辨率： 共聚焦模式可達(dá)納米級(jí)，干涉模式可達(dá)亞納米級(jí)。

• 最大掃描范圍： 可達(dá)數(shù)毫米（Z軸）

• 最大樣品尺寸： 取決于載物臺(tái)配置，可定制大型載物臺(tái)。

儀器的軟件算法是性能的另一支柱。*的降噪算法、形式誤差去除、自動(dòng)邊緣檢測(cè)和數(shù)據(jù)拼接功能，使得測(cè)量結(jié)果更能反映樣品的真實(shí)形貌。S neox的細(xì)節(jié)體現(xiàn)在其兼顧了宏觀定位的便捷性和微觀測(cè)量的精確性，滿足了從研發(fā)到生產(chǎn)的多種需求。