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光學(xué)顯微鏡
奧林巴斯顯微鏡
OLS5100共聚焦顯微鏡微觀世界精準洞察者
OLS5100共聚焦顯微鏡微觀世界精準洞察者在科研與工業(yè)檢測的征程中,對微觀世界的精準洞察是推動技術(shù)進步的關(guān)鍵。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100,憑借其優(yōu)良的技術(shù)和實用的功能,成為微觀世界的精準洞察者。
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OLS5100共聚焦顯微鏡微觀世界精準洞察者
在科研與工業(yè)檢測的征程中,對微觀世界的精準洞察是推動技術(shù)進步的關(guān)鍵。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100,憑借其優(yōu)良的技術(shù)和實用的功能,成為微觀世界的精準洞察者。
OLS5100的彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息,激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。這種雙光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計,讓設(shè)備能夠同時獲取樣品的彩色信息、高度信息和高分辨率圖像,為用戶提供更全面的微觀世界信息。
OLS5100的激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線,有助于消除模糊,獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像。在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像,根據(jù)非連續(xù)的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)估算每個像素的光強變化曲線(I - Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度,從而得到樣品表面的3D形狀信息。
核心光學(xué)部件選用高透光率光學(xué)玻璃,經(jīng)過特殊鍍膜處理,減少光線反射與損耗。樣品臺臺面采用耐磨陶瓷材質(zhì),表面平整度誤差小于2μm,既抗腐蝕又耐高溫。內(nèi)部機械傳動部件采用精密滾珠絲杠與伺服電機,保障長期使用后的運動精度。這些優(yōu)質(zhì)的材料選擇,為設(shè)備的穩(wěn)定運行提供了堅實的保障。
參數(shù)項 | 具體數(shù)值 |
---|---|
激光波長 | 405nm |
縱向分辨率 | 10nm |
橫向分辨率 | 100nm |
掃描范圍 | X/Y軸最大150mm×150mm,Z軸最大10mm |
樣品臺承重 | 5kg |
掃描模式 | 2D成像、3D掃描、線掃描 |
圖像分辨率 | 最高4096×4096像素 |
分析功能 | 粗糙度、體積、臺階高度計算等 |
OLS5100提供多種型號,如OLS5100 - SAF、OLS5100 - LAF等。OLS5100 - SAF適用于對分辨率要求較高的半導(dǎo)體芯片檢測等領(lǐng)域,能夠清晰捕捉芯片表面的微小結(jié)構(gòu);OLS5100 - LAF則更適合大型機械零件的表面粗糙度檢測,其較大的樣品容納空間和長工作距離物鏡,方便對大型樣品進行全面檢測。
在材料科學(xué)領(lǐng)域,OLS5100可用于分析金屬材料的晶粒大小和晶界情況,為材料的性能優(yōu)化提供依據(jù);在半導(dǎo)體制造中,能對芯片表面的微電路結(jié)構(gòu)進行測量和分析,助力提升芯片制造的質(zhì)量;在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,可觀察細胞在支架表面的黏附形態(tài),為生物材料的研究提供重要數(shù)據(jù);在新能源領(lǐng)域,可用于檢測電池材料的微觀結(jié)構(gòu),為電池性能的改進提供支持。
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