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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?

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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?
Sensofar S lynx輪廓儀的測(cè)量穩(wěn)定性和使用壽命,與其硬件架構(gòu)設(shè)計(jì)和材料選擇相關(guān)聯(lián)。從整體結(jié)構(gòu)到核心組件,其設(shè)計(jì)均考慮了工業(yè)化環(huán)境下的使用需求。

產(chǎn)品型號(hào):lynx2
更新時(shí)間:2025-10-13
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:72
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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南

建立并遵循規(guī)范的操作流程,是使用Sensofar S lynx輪廓儀獲得可靠、可重復(fù)測(cè)量結(jié)果的重要環(huán)節(jié)。流程涵蓋從開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備到數(shù)據(jù)保存的全過(guò)程。
測(cè)量前準(zhǔn)備

環(huán)境與樣本檢查:確保儀器放置在穩(wěn)固的臺(tái)面上,遠(yuǎn)離強(qiáng)振動(dòng)源和氣流。檢查樣本表面是否清潔、干燥,無(wú)松動(dòng)顆粒。對(duì)于微小樣本,需確保其被穩(wěn)定地固定于樣品臺(tái)上。

開(kāi)機(jī)與初始化:依次打開(kāi)儀器主機(jī)、電腦顯示器電源,最后啟動(dòng)儀器主機(jī)。啟動(dòng)配套的SensoMAP測(cè)量軟件,軟件通常會(huì)執(zhí)行系統(tǒng)自檢和初始化流程。

樣本放置:將樣本輕放于樣品臺(tái)中心區(qū)域,避免碰撞物鏡。
對(duì)焦與測(cè)量設(shè)置

選擇物鏡與觀察:在軟件界面選擇適合的物鏡倍數(shù)。使用軟件控制樣品臺(tái)移動(dòng),找到需要測(cè)量的區(qū)域。通過(guò)實(shí)時(shí)圖像功能,調(diào)整Z軸高度直至圖像清晰。

選擇測(cè)量模式:根據(jù)樣本特性選擇“共聚焦"(Confocal)或“白光干涉"(VSI)模式。對(duì)于不熟悉的樣本,可先用共聚焦模式進(jìn)行快速預(yù)覽。

設(shè)置掃描參數(shù):設(shè)定垂直掃描的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn),確保范圍能覆蓋待測(cè)特征的高度。設(shè)置合適的掃描步長(zhǎng),步長(zhǎng)越小,理論上垂直分辨率越高,但掃描時(shí)間會(huì)增加。可啟用“自動(dòng)曝光"功能讓系統(tǒng)優(yōu)化光照條件。
執(zhí)行測(cè)量與數(shù)據(jù)處理

開(kāi)始測(cè)量:確認(rèn)參數(shù)無(wú)誤后,啟動(dòng)單點(diǎn)或區(qū)域掃描。儀器將自動(dòng)完成Z軸掃描和數(shù)據(jù)采集。

數(shù)據(jù)重建與預(yù)覽:掃描結(jié)束后,軟件會(huì)自動(dòng)處理數(shù)據(jù),生成三維形貌圖、二維等高圖、輪廓線等,用戶可即時(shí)預(yù)覽測(cè)量效果。

大區(qū)域測(cè)量:若需測(cè)量超出單視場(chǎng)的區(qū)域,可使用軟件提供的拼接測(cè)量功能(如Tile Scan),預(yù)設(shè)拼接行列數(shù),儀器將自動(dòng)完成多視場(chǎng)測(cè)量與拼接。
數(shù)據(jù)分析與報(bào)告生成

數(shù)據(jù)調(diào)平與濾波:使用軟件的數(shù)據(jù)處理工具,首先應(yīng)用“調(diào)平"功能去除樣本傾斜帶來(lái)的誤差。根據(jù)需要,可選用合適的濾波器(如高斯濾波器、形態(tài)學(xué)濾波器)分離形狀、波紋度和粗糙度成分。

參數(shù)提取:在感興趣區(qū)域(ROI)內(nèi),計(jì)算表面粗糙度參數(shù)(Sa, Sq, Sz等)、臺(tái)階高度、體積、表面積、幾何尺寸等。

結(jié)果保存與導(dǎo)出:將包含原始數(shù)據(jù)和分析結(jié)果的項(xiàng)目文件保存為特定格式。可將三維圖像、二維曲線和數(shù)據(jù)表格導(dǎo)出為通用格式(如.png, .csv),用于編制報(bào)告
總結(jié)
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化的操作步驟,用戶可以系統(tǒng)性地完成測(cè)量任務(wù),有助于減少操作誤差,保證測(cè)量結(jié)果的一致性和可追溯性。


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