布魯克白光干涉儀輪廓儀設備開機與前期準備

ContourX-100三維光學輪廓儀的操作流程需遵循標準化步驟，以保證測量數(shù)據(jù)的可靠性。設備型號為ContourX-100，開機前需確認環(huán)境條件：建議放置在水平工作臺面，避免強光直射與劇烈振動，因設備雖具備集成防震設計，但極環(huán)境仍可能影響測量穩(wěn)定性。

ContourX-100三維光學輪廓儀的操作流程需遵循標準化步驟，以保證測量數(shù)據(jù)的可靠性。設備型號為ContourX-100，開機前需確認環(huán)境條件：建議放置在水平工作臺面，避免強光直射與劇烈振動，因設備雖具備集成防震設計，但極環(huán)境仍可能影響測量穩(wěn)定性。

（一）硬件啟動步驟

1. 連接設備電源與電腦主機，打開電源開關，設備進入自檢模式，此時指示燈呈綠色閃爍，自檢完成后常亮。

2. 啟動白光 LED 光源，等待 3 分鐘預熱，確保光源輸出穩(wěn)定 —— 光源采用長壽命設計，但頻繁開關會縮短使用壽命，建議持續(xù)待機狀態(tài)。

3. 檢查載物臺狀態(tài)：手動推動載物臺確認移動順暢，通過水平調整旋鈕將臺面調至水平，偏角調整范圍為 ±5°，可借助水平儀輔助校準。

（二）樣品準備與裝載

1. 根據(jù)樣品尺寸選擇合適的固定方式：小型樣品可直接放置于載物臺中心，大型樣品需確認尺寸不超過 100mm×100mm 的載物臺范圍。

2. 清潔樣品表面：用無塵布蘸取無水乙醇擦拭，去除油污與灰塵，避免影響反射率檢測 —— 設備雖能適配 0.05% 至 100% 反射率，但表面雜質可能導致局部測量偏差。

3. 輕放樣品于載物臺，通過手動調節(jié)旋鈕將樣品移動至測量視野下方，初步對準鏡頭。

二、測量模式設置與參數(shù)調節(jié)

（一）軟件啟動與模式選擇

• 厚膜、精密加工表面優(yōu)先選擇 WLI 模式，測量范圍 50nm 至 10mm；

• 超薄膜（0 至 3μm）選擇 PSI 模式，可獲得更高重復性；

• 需同時分析表面形貌與色彩時，可勾選 “Color Imaging" 選項（需軟件 license 支持）。

（二）光學參數(shù)配置

1. 鏡頭選擇：設備配備 4 物鏡炮塔，支持自動位置感測與切換，根據(jù)測量精度需求選擇物鏡倍率，倍率變化不影響 Z 軸分辨率。

2. 攝像頭參數(shù)：500 萬像素攝像頭默認輸出 2592×1944 分辨率圖像，可通過光學變焦調整視野，1X 變焦適用于大區(qū)域掃描，4X 變焦用于局部細節(jié)檢測。

3. 掃描參數(shù)設置：在軟件中輸入縱向掃描范圍，壓電陶瓷驅動最大支持 500μm，需更大范圍時可切換至 100mm 縱向運動模式；掃描速度設為 12μm/sec，平衡效率與精度。

三、樣品測量與數(shù)據(jù)處理流程

（一）自動測量操作

1. 點擊軟件 “自動對焦" 按鈕，設備通過攝像頭識別樣品表面，完成焦點定位；若對焦不準確，可手動調節(jié)載物臺高度輔助對準。

2. 開啟 “自動拼接" 功能（需大面積測量時），設置掃描區(qū)域與拼接次數(shù)，設備將自動完成多區(qū)域掃描并合成完整 3D 形貌圖。

3. 啟動測量后，系統(tǒng)自動保存原始數(shù)據(jù)，同時進行實時分析，可在界面實時查看 2D 輪廓曲線與 3D 偽彩圖。

（二）數(shù)據(jù)篩選與報告生成

1. 分析工具選擇：從軟件預編程濾鏡庫中調用適配標準，如 ISO 25178 用于表面粗糙度分析，ASME B46.1 用于輪廓參數(shù)計算。

2. 數(shù)據(jù)處理：剔除異常點后，軟件可生成臺階高度直方圖、粗糙度參數(shù)表等結果，支持上千項自定義分析項的組合輸出。

3. 報告導出：選擇 “定制化報告" 模板，可包含測量參數(shù)、原始圖像、分析結果等內容，格式支持 PDF、Excel 等，同時可通過 Online 平臺上傳至云端，或用移動端 APP 查看。

四、關機與日常維護要點

1. 測量完成后，先關閉白光 LED 光源，等待 5 分鐘冷卻后再關閉設備電源。

2. 清潔保養(yǎng)：用鏡頭紙擦拭物鏡與攝像頭鏡片，載物臺表面用無塵布清潔，避免殘留樣品碎屑影響下次測量。

3. 定期校準：每月使用標配的 10μm 臺階高度標準片進行校準，確保 Z 軸測量精度；每季度聯(lián)系售后進行全面維護，布魯克提供安裝調試后的免費培訓，可咨詢校準細節(jié)。