服務(wù)熱線
17701039158
產(chǎn)品中心
PRODUCTS CNTER當(dāng)前位置:首頁
產(chǎn)品中心
臺式電鏡&臺階儀&原位分析
澤攸臺式掃描電鏡
納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介紹
納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介紹澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合,可提供多維度的樣品信息。
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合,可提供多維度的樣品信息。納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介紹
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能:
JS系列采用壓電陶瓷驅(qū)動和柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了探針的平穩(wěn)掃描。測量力可調(diào),以適應(yīng)不同硬度樣品的測量需求,避免對樣品造成損傷。
核心參數(shù)(JS 400例):
掃描范圍:100μm × 100μm × 25μm (XYZ)
垂直分辨率:0.1nm
掃描速度:0.01 - 1mm/s
樣品尺寸:直徑≤ 6英寸
用途:
主要用于半導(dǎo)體制造中的膜厚測量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。
使用簡述:
選擇并安裝合適的探針,將樣品固定在樣品臺上。通過軟件設(shè)定掃描路徑和參數(shù),系統(tǒng)即可自動完成測量并生成三維輪廓圖。納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介
掃碼加微信
Copyright©2025 北京儀光科技有限公司 版權(quán)所有 備案號:京ICP備2021017793號-2 sitemap.xml
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登陸